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현재 반도체 필드에서는 높은 통합 및 토토사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단의 속도를 달성하기 위해 프로세스의 소형화가 필요합니다. 일반적으로, 공정을 소형화하기 위해, 리소그래피 공정의 광원으로서 KRF (진동 파장 248nm) 또는 ARF (진동 파장 193nm)와 같은 짧은 파장 엑시머 레이저를 사용하여 노출 토토사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단를 사용하여 저항 패턴이 형성된다. 그러나, 시스템 LSI를 사용하면 게이트 전극 만 소형화하여 더 빠른 속도를 달성 할 수 있으며 전체 토토사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단의 패턴 피치의 밀도를 소형화하거나 증가시킬 필요가 없습니다. 이러한 이유로, 저항 패턴 만 개선하는 저렴한 토토사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단에 대한 시장에서 점점 더 필요합니다. 따라서 이러한 시장의 요구에 부응하여 이제는 입자가 충전되지 않고 토토사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단에 전기적 또는 물리적 손상을 유발하지 않는 오존 공정을 사용하여 저항 패턴을 소형화하는 오존 공정을 사용하는 슬림 토토사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단사이트 번호 차단 인 "SP-1200"을 상용화했습니다.
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<가격, 배송 기간, 판매 목표>
| 제품 이름 |
표준 가격 (세금 제외) |
첫해 판매 목표 |
| 슬림 토토사이트 번호 차단 "SP-1200" |
9 천만 엔 |
20 단위/년 |
<Specification>
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항목
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사양
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| 시스템 |
토토사이트 번호 차단 프로세스 |
| 처리 챔버 수 (조각) |
2 |
| 대상 토토사이트 번호 차단 |
KRF, ARF, EB, I-WIRE 등의 경우 |
| 프로세스 가스 |
토토사이트 번호 차단 가스 |
| 슬림 금액 (NM) |
60 (실제 가치) |
| 치수 (mm) |
주 단위 : 1,100 (w) x 1,300 (d) x 1,800 (h) 1 단위 |
| 토토사이트 번호 차단 생성기 600 (w) x 600 (d) x 1,750 (h) 2 단위 |
| 오존 분해 토토사이트 번호 차단 600 (w) x 550 (d) x 1,525 (h) 1 단위 |
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