토토사이트 는 최근 시스템 LSI의 검사 프로세스를 크게 단축시키는 새로운 온칩 토토사이트 주인공 결함 릴리프 기술을 개발했습니다. 이것은 결함 주소를 작성하기위한 프로그램 요소로 시스템 LSI에서 플래시 토토사이트 주인공를 사용하여 결함 검사 장치에 대한 검사와 동시에 결함을 수리하는 기술입니다. 검사 후 수행 된 종래의 레이저 수리 프로세스는 더 이상 필요하지 않으므로 검사 프로세스 비용과 시간이 크게 줄어 듭니다. 또한이 기술은 레이저 장치로 수리하기 어려운 구리 배선이 도입되는 차세대 시스템 LSI의 토토사이트 주인공 요법에 적용될 수 있습니다.
시스템 LSI는 휴대용 정보 장치 및 디지털 정보 기기의 핵심이며 매년 더 높은 통합 및 성능 향상을 요구하고 있습니다. 높은 통합의 발전으로 시스템의 온칩 토토사이트 주인공는 1mbit 이상의 대용량으로 사용되고 있습니다.토토사이트 주인공 용량이 증가함에 따라, 시스템 LSI의 온칩 토토사이트 주인공는 구조 회로가 일반 목적 토토사이트 주인공와 마찬가지로 결함있는 토토사이트 주인공를 구하기 위해 필요 해지고 있습니다. 그러나 전통적인 토토사이트 주인공 치료 기술1)in 3680_3766 |, 레이저를 사용하여 회로를 녹여 수리를위한 레이저 장치가 필요했으며 검사 장치에서 레이저 장치로 웨이퍼를 전달하는 과정이있었습니다. 또한 구리 배선은 향후 시스템 LSI의 주류가 될 것으로 생각되지만 구리는 융점이 높기 때문에 주요 도전이있어 레이저 장치를 사용하여 회로를 날려 버리기가 어렵습니다.
이 배경으로 인해 레이저 장치 융합 프로세스가 필요하지 않은 온칩 토토사이트 주인공를위한 결함 릴리프 기술을 개발했습니다. 새로 개발 된 결함 완화 기술에는 두 가지 기능이 있습니다.
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로직 프로세스를 사용하여 제작할 수있는 역 게이트 구조가있는 플래시 토토사이트 주인공가 개발되어 결함 검사 장치에서 전기적으로 프로그래밍 될 수있는 프로그램 요소로 적용되었습니다. |
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오류 수정 로직 회로 (ECC)를 사용하여 플래시 토토사이트 주인공 셀의 신뢰성이 개선되었습니다. |
이러한 기술을 통해 다음과 같은 효과가 달성되었습니다.
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결함 토토사이트 주인공의 주소는 LSI 검사 장치에서 전기적으로 프로그래밍되고 수리 된 결함이 있으므로 |
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배선 프로세스에 관계없이 사용할 수 있으므로 향후 주류 시스템 LSI가되는 것으로 생각됩니다. |
또한, 시스템 LSI를위한 0.18μm (마이크로 미터) SI 기술 플랫폼 P76C에 설치된 표준 인 고도로 통합 된 SRAM 에이 기술을 적용한 결과, 새로운 장치의 도입 없이는 온칩 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공를 구출하고 수익률을 낮추고 실용성 및 신뢰성을 확인할 수 있음을 확인했습니다. 이 기술은 6 월 14 일부터 교토에서 개최 될 VLSI 회로 심포지엄에서 발표 될 예정입니다.
<note>1) 기존 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 치료 기술 : 결함이있는 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공가있을 때 결함이있는 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공를 대체하기위한 중복 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공와 중복 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공의 주소를 저장하기위한 프로그램 회로로 구성됩니다. 결함이있는 경우 LSI를 검사 할 때 결함 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공의 주소가 LSI로 프로그래밍되고 LSI가 작동 할 때 주소는 결함 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공를 정상 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공로 바꾸는 데 사용됩니다. 전통적인 토토사이트 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 주인공 구조 회로에서 프로그램 요소 (퓨즈)는 폴리 실리콘 또는 알루미늄 배선을 사용하여 제작됩니다. 결함 완화를 프로그래밍 할 때 레이저 장치를 사용하여 퓨즈가 날려집니다. |
