토토 사이트. (Director : Takeda Eiji)는 최근 토토사이트 위키 헤테로 접합 바이폴라 트랜지스터 (HBT :HeterojunctionBipolartRansistor) 및 컷오프 토토사이트 위키수1)IS 124 Gigahertz (GHZ), 최대 진동 토토사이트 위키수2)세계에서 가장 빠른 장치 성능 174GHz를 달성했습니다. 토토사이트 위키 위키 위키 위키 위키 위키 위키 위키
인터넷 및 휴대폰의 빠른 확산으로 광학 및 무선 통신 시스템에서 대용량 데이터 전송에 대한 수요가 증가하고 있습니다. 동시에 통신 트랜시버에 설치된 LSI (대규모 통합 회로)의 고속 성능이 크게 개선 될 필요가 있습니다. 초고속 HBT와 CMOS (보완 금속 산화물 반도체)를 결합하여 중간 및 저속 신호 처리를 수행하는 바이폴라 CMO (BICMOS)는이 요구 사항을 충족시키기 위해 LSI로서 관심을 끌고 있습니다. 그러나 기존의시기3), 양극성 CMO에 적합한 HBTS의 새로운 재료로 관심을 끌고 있습니다. 그러나 지금까지 토토사이트 위키의 에피 택셜 성장을 사용하여 자체 정렬 구조가 사용되었습니다.4)제조 할 수 없었으며 속도는 자체적으로 달성되지 않았습니다.
이러한 배경으로 인해 우리는 양극성 CMO에 적합한 고속 토토사이트 위키 HBT 기술을 연구하여 세계에서 가장 빠른 성능을 달성했습니다. 개발 된 두 기술은 다음과 같습니다.
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선택적 에피 택셜 성장에 의한 토토사이트 위키 기반 형성: 우리는 UHV/CVD 방법 (초고록 진공 화학적 증착)에 의해 SI 기질에서만 단결정 토토사이트 위키가 형성되는 선택적 에피 택셜 성장 기술을 개발했다. |
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자체 정렬 된 토토사이트 위키 HBT 기술: 토토사이트 위키 선택적 에피 택셜 성장 기술을 사용한 자체 정렬 프로세스는 마스크 정렬없이 트랜지스터의 주요 부분을 형성하기 위해 개발되었습니다. |
이것은 다음과 같은 영향을 초래했습니다 :
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개선 된 토토사이트 위키지스터 작동 속도: 0.4% C를 함유하는 고품질 토토사이트 위키 층은 기본 층으로 사용되며, 기생 저항성 및 기생 커패시턴스를 감소시킬 수있는 자체 정렬 된 토토사이트 위키 구조가 사용됩니다. |
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초고속 회로 토토사이트 위키 달성:이 트랜지스터를 토토사이트 위키한 ECL 회로5)를 사용하면 5.7 피코 초의 초고속 회로 토토사이트 위키이 가능하다는 것을 확인했습니다. |
이 기술을 사용하면 초고속 HBT 및 CMO를 0.1 μm의 가공 크기와 쉽게 혼합 할 수 있으며, 멀티미디어 서비스, 대규모 무선 통신 시스템 및 Millimeter WEV를 사용하는 차세대 트래픽 컨트롤 시스템과 같은 차세대 IT 기술을 지원하는 초고속 고토토사이트 위키 고토토사이트 위키 장치 기술 일 것으로 예상됩니다.
이 결과는 12 월 3 일부터 미국 워싱턴 D.C.에서 열린 전자 장치에 관한 국제 회의가 될 것입니다.
[용어집 등]
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컷오프 주파수 : 요소가 전류를 증폭시킬 수있는 최고 주파수에서 디지털 회로의 고속 작동 토토사이트 위키의 표시기. |
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최대 진동 주파수 : 요소가 전원을 증폭시킬 수있는 최고 주파수에서 아날로그 회로의 고속 작동 토토사이트 위키을 나타내는 인덱스. |
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토토사이트 위키 HBT의 내열성 특성 : 양극성 트랜지스터의 기본 층에 C를 추가함으로써,베이스의 불순물 (b) 확산은 억제 될 수 있으며, 기본 층의 두께는 고온에서 열 처리를 수행 할 때에도 감소 될 수있다. 따라서, 마이크로 CMO를 동일한 기판에서 운반 할 수있어 고성능 LSI를 실현할 수 있습니다. |
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자체 정렬 구조 : 하나의 리소그래피 프로세스 만 사용하여 메인 트랜지스터를 제작함으로써 마스크 정렬의 정확성을 고려하지 않고 요소를 설계 할 수 있습니다. 결과적으로, 기생충 커패시턴스 및 기생 저항성 증가가 감소 될 수 있고 장치 토토사이트 위키 (고속 작동)이 향상 될 수 있습니다. |
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ECL 토토사이트 위키 : 이미 터 결합 로직 토토사이트 위키. |
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