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2002 년 6 월 11 일
개발 된 세계에서 가장 빠른 엘클라시코 토토사이트 길이 20 나노 미터 CMOS 기술
-질화물 기반 엘클라시코 토토사이트 절연 필름에 의한 누출 전류 감소-

엘클라시코 토토사이트토토 사이트. (대통령 : Shoyama Etsuhiko)는 최근에 게이트 길이가 20 나노 미터 (NM)의 CMO를 고속 저전력 응용에 적합한 CMO를 만들었다 고 발표했습니다.ComplementaryMetalOxideSEmiconductor) 장치 기술이 개발되었습니다. 엘클라시코 토토사이트 길이는 세련되고 새로 개발 된 질화물 기반 엘클라시코 토토사이트 절연 필름은 세계에서 가장 빠른 장치 작동과 함께 엘클라시코 토토사이트 누출 (이전 모델의 1/10 미만)을 크게 줄일 수있었습니다. 이 성과는 모바일 장치에 적합한 고속 저전력 CMO의 기본 기술이 될 것으로 예상되며, 이는 미래에 점점 더 요구되고 있습니다.

엘클라시코 엘클라시코 엘클라시코 엘클라시코 엘클라시코 엘클라시코 엘클라시코 토토사이트사이트사이트사이트사이트사이트사이트최근 몇 년 동안 시장은 빠르게 확장되고 있으며 모바일 장치의 성능 향상은 시스템 LSI의 성능 향상에 의해 주도되었습니다. 고속 외에도 시스템 LSI 성능 지표에는 저전력 소비가 포함되어 있으며 모바일 장치의 배터리 수명에 기여합니다. 이러한 배경을 감안할 때 LSI 시스템을 구성하는 CMOS 장치는 트랜지스터의 게이트 길이를 소형화하고 게이트 절연 필름을 얇게하여 고속 및 저전력 소비를 달성했습니다. 그러나 게이트 절연 필름을 얇게하는 것은 장치 속도를 높이는 데 기여하지만, 절연체로서의 기능이 방해되어 게이트 누출 전류로 인해 전력 소비가 증가합니다. 이 문제는 0.1 마이크로 미터 생성에서 CMOS 장치에서 더욱 명백 해져서 고속 성능과 게이트 누출 전류를 억제 할 수있는 미세한 CMOS 장치를 개발하는 것이 필수적이되었습니다.

엘클라시코 토토사이트이러한 배경으로 인해 Central Research Institute와 Device Development Center는 고속으로 작동하고 전력 소비가 우수한 고급 CMOS 장치 기술을 공동으로 개발했습니다.
새로 개발 된 기술의 기능은 다음과 같습니다.
(1) 엘클라시코 토토사이트 길이를 소형화하고 용량을 줄임으로써 고속 작동 달성 :엘클라시코 토토사이트를 형성 할 때 엘클라시코 토토사이트를 얇게하여 트리밍이 적용되어 엘클라시코 토토사이트 길이가 20nm입니다. 또한, 트랜지스터를 고속으로 작동시키기 위해서는 전류를 켜고 오프하는 엘클라시코 토토사이트 커패시턴스를 동시에 감소시켜야합니다. 따라서 오프셋 스페이서 구조는 엘클라시코 토토사이트 영역을 제한합니다*1를 사용하여 용량이 줄었습니다 엘클라시코 토토사이트 작동을 달성합니다.
(2) 엘클라시코 토토사이트 누출 전류를 억제하는 질화물 기반 엘클라시코 토토사이트 절연 필름 :우리는 토토 사이트의 독특한 필름 형성 방법을 사용하여 매우 얇은 질화물 기반 엘클라시코 토토사이트 절연 필름을 개발하여 질화물 필름에 산소를 도입했습니다. 이 절연 필름은 기존의 단열 필름 이상의 유전 상수를 가지고 있습니다.*2이제 누출 전류를 억제 할 수 있습니다. 또한, 절연 엘클라시코 토토사이트/실리콘 기판 인터페이스가 양호한 조건으로 형성 될 수 있기 때문에, 트랜지스터 성능 측면에서 높은 출력 전류 특성을 얻을 수 있다는 이점이있다.

엘클라시코 토토사이트프로토 타입 CMOS 장치의 게이트 길이는 20nm이고 게이트 절연 필름 두께는 1.4nm입니다. 운영 성능을 측정 한 후 게이트 길이가 20 nm 인 세계에서 가장 빠른 CMOS 장치 인 280 펨토초를 달성했습니다. 또한 게이트 누출 전류는 이전보다 몇 배 더 줄어들 수있는 것으로 밝혀졌습니다. 또한, 트랜지스터의 출력 전류가 N 채널의 경우 약 7%, P 채널의 경우 약 20% 증가 함을 확인했습니다. 이번에 개발 된 질화물 기반 게이트 절연 필름은 더 얇아 질 수 있으며 더 높은 장치의 성능을 기대할 수 있습니다. 앞으로 고성능 모바일 장치에 필요한 고속 저전력 CMO의 기본 기술로서 완벽 수준을 향상시킬 계획입니다.

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■ 용어
(1) 오프셋 스페이서 구조 : 엘클라시코 토토사이트 영역을 제한하기 위해 단열 필름으로 엘클라시코 토토사이트의 측면을 둘러싼 구조.
(2) 유전 상수 : 유전 상수가 높을수록 전하가 커질 수 있고 엘클라시코 토토사이트 절연 필름에서 엘클라시코 토토사이트 누출 전류는 엘클라시코 토토사이트 누출 전류를 억제하는 데 효과적입니다.

   



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