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2004 년 6 월 17 일

3D 구조를 가진 프로토 타입 칼리토토 셀

이전 모델의 3 분의 1에 의한-메모리 셀 영역 감소-

토토 사이트. (Shoyama Etsuhiko, Healinafter Hitachi)는 Renesas Technology Co., Ltd. (회장 및 CEO : Nagasawa Koichi; HEALLIAFTER RENESAS 기술)와 협력하여 3 차원 칼리토토 (StaticrandomaccessmEmory) 셀이 개발되었고 우리는 그 작업을 성공적으로 확인했습니다. 3D 칼리토토 셀은 4 개의 트랜지스터 중 2 개가 정상 트랜지스터의 수직 폴리 실리콘 MOS 트랜지스터로 쌓이는 구조를 갖는다. 이 3 차원 구조를 채택함으로써 메모리 셀 영역을 이전 모델에 비해 1/3로 줄일 수 있습니다. 45nm 프로세스 및 그 이상의 기본 구조가 될 것으로 예상되며, 이는 칼리토토의 높은 통합 한도를 뚫을 것입니다.

칼리토토은 데이터를 유지하기 위해 새로 고침 작업이 필요하지 않으며, 낮은 전력 소비 성능, 시스템 LSI 용 온칩 메모리 및 휴대폰의 작업 메모리를 갖춘 메모리로 널리 사용됩니다. 그러나 미래에는 더 높은 통합에 대한 수요로 인해 장치가 더 세련되게되며, 45nm 프로세스 생성과 그 이후에는 장치가 안정적인 작동의 한계에 접근하면서 대기 전류를 억제 할 것으로 예상됩니다. 한편, 휴대 전화와 같은 모바일 정보 장치는 각 세대의 기능이 증가함에 따라 메모리 용량을 두 배로 늘 렸으며 칼리토토의 높은 통합에 대한 수요는 미래에도 계속 증가 할 것으로 예상됩니다.

이러한 배경으로 인해 토토사이트 는 Renesas 기술과 협력하여 3D 칼리토토 셀을 성공적으로 개발하여 45nm 프로세스 생성 및 그 이후에 소형 고도로 통합 된 칼리토토 메모리를 실현했습니다.
3D 구조를 가진 칼리토토 셀의 세부 사항은 다음과 같습니다.

원통형 수직 폴리 실리콘 MOS 트랜지스터
우리는 실리콘 기판에 쌓인 원통형 폴리 실리콘 MOS 트랜지스터를 개발했습니다. 이 트랜지스터에는 실린더의 상단과 하단에 소스와 배수가있는 서라운드 게이트 구조와 측면 주위의 게이트가 있습니다. 그 특성은 측면이 수직 방향으로 채널이되고 전류 흐름이 20a 및 기존의 폴리 실리콘 트랜지스터보다 더 큰 전류.
4 개의 트랜지스터 구성이있는 칼리토토 셀
우리는 2 개의 수직 트랜지스터와 2 개의 일반 트랜지스터를 사용하여 4 개의 트랜지스터로 구성된 3D 칼리토토 셀을 개발했습니다. 수직 트랜지스터는 일반적으로 트랜지스터의 상부 층에 형성되므로 셀 영역은 2 개의 트랜지스터와 동일하므로 기존 칼리토토에 비해 상당히 감소 될 수 있습니다.
2 파워 워드 라인 드라이브 시스템
우리는 읽기 및 쓰기를위한 단어 선의 구동 전압을 분리하는 방법을 개발했습니다. 이는 읽기 중 전류로 인해 메모리 셀 내부의 데이터가 반전되는 것을 방지하여 안정적인 읽기 및 쓰기 작업을 달성합니다.
전자 필드 이완 대기 방법
이 기술은 대기 중에 메모리 셀에 적용되는 전압을 최적화하여 누출 전류를 억제하여 88.7 FA의 대기 전류를 달성합니다. 이는 기존 칼리토토 셀과 동일합니다.

이러한 회로 기술을 사용하여 130 나노 미터 CMOS 프로세스를 사용하여 메모리 셀을 프로토 타입으로 만들었으며, 읽기 및 쓰기 작업이 어떤 문제없이 수행 될 수 있음을 확인하여 원리 작업을 보여줍니다. 또한 프로토 타입 메모리 셀의 면적은 0.78

m²기존 칼리토토의 크기의 3 분의 1로 밝혀졌습니다.
이 기술은 45nm 프로세스 생성에서 작고 통합되고 저렴한 저렴한 칼리토토을 실현하는 방법을 열어 주며 향후 휴대용 정보 장치의 추가 발전을 지원할 기술이 될 것으로 예상됩니다.

이 콘텐츠는 6 월 17 일부터 미국 하와이에서 개최 될 VLSI 회로 심포지엄에서 발표되었습니다.

연락처 정보

토토 사이트. Central Research Institute 계획 사무소 [책임 : Uchida, Kinoshita]
280 Higashi-Keigakubo 1-Chome, Kokubunji City, 도쿄 185-8601
전화 (042)327-7777 (다이얼 인)

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