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2004 년 8 월 2 일
독립 행정 기관, 국립 선진 산업 과학 기술 연구소
토토 사이트.
Optical Industrial Technology Promotion의 설립 재단
 

세계 최고 정의 토토사이트 슈퍼맨농 TFT 중심 컬러 LCD를 성공적으로 제작했습니다

---- 성능 향상 및 악화 방지로 성공적으로 소형화 된 토토사이트 슈퍼맨 TFT 크기 ----
 
 
 
    광학 기술 연구 부서, 국립 선진 산업 과학 기술 연구소 (Yoshikawa Hiroyuki 회장) (이하 "AIST"), 광학 기술 연구 부서, Watanabe Masanobu, 토토 사이트. (이하 "Hitachi") 및 산업 기술의 홍보 (Kanasugigiang kanobu)의 홍보 협회 (이하 Kanasugi) 산업 과학 및 기술 (이하 "히타치"라고 함) 및 산업 기술 협회 (Kanasugi Akinobu 회장), 경제 및 산업부 및 고급 에너지 및 산업 기술 조직 (Makino Tsukasa 회장) (이하 "Nedo 기술 개발 조직"으로 언급 된) (Ministry of Ministry of the Ministry of the Trade, and Communited). 산업 기술 개발기구 (Makino Tsukasa 회장) (이하 "Nedo 기술 개발 조직").*1운전 스위치로. 이것은 e-paper를 허용합니다.*2와 같은 차세대 디스플레이를 제공 할 수있는 기술로 더욱 현실적으로 만들어 질 것으로 예상됩니다. 저렴한 비용으로.
 
토토사이트 슈퍼맨 TFT는 솔루션 재료를 사용하여 인쇄하여 저렴한 비용으로 생산할 수 있으며 실온 프로세스입니다.*3로 유연한 플라스틱 기판에 형성 될 수 있으므로 현재 국제적으로 더욱 활성화되고 있습니다. 그러나 지금까지 토토사이트 슈퍼맨 TFT는 디스플레이에 적용 할 때 장치 제조 공정에서 발생하는 성능 저하를 적절히 억제 할 수 없었으므로 고화질 디스플레이에 적용하기가 어려웠으며 TFT 크기를 크게 설계해야했습니다.
 
이번에는 AIST, Hitachi 및 Hikari Association이 토토사이트 슈퍼맨 TFT 성능의 악화를 억제하는 응용 보호 필름을 성공적으로 개발했습니다. 또한, 토토사이트 슈퍼맨 반도체와 접촉하는 금속 전극의 형태를 최적화하여 접촉 인터페이스로 인한 저항을 줄이는 기술이 개발되었습니다. 이러한 기술은 소형 토토사이트 슈퍼맨농 TFT의 경우에도 고성능을 달성 할 수있게 해주었다.
 
  이번에 개발 된 기술을 사용하여 토토사이트 슈퍼맨 TFT 기반 컬러 LCD 디스플레이의 프로토 타입을 성공적으로 만들었습니다. 이것은 현재까지 프로토 타입으로 된 세계 최고의 정의 토토사이트 슈퍼맨 TFT 구동 액정 디스플레이입니다. 사양은 다음과 같습니다. 대각선 화면 크기 : 1.4 인치, 픽셀 카운트 : 80 x 80 (RGB), 정의 : 80ppi, 픽셀 크기 : 318muM × 106mum (RGB) (1 마이크로 미터 : 백만 분의 1 백만 미터), 컬러 디스플레이가 가능합니다.
 
이 프로토 타입 토토사이트 슈퍼맨 TFT- 구동 컬러 액정 디스플레이는 상업적으로 이용 가능한 비정질 실리콘 TFT*4를 사용하여 액정 디스플레이와 유사한 정의를 가지고 있으며, 이는 토토사이트 슈퍼맨 TFT가 액정 디스플레이에 적용될 수 있음을 나타냅니다. 이를 통해 전자 용지와 같은 시트 디스플레이가 가능합니다.*5인쇄 방법을 사용합니다.
 
6458_6629*6)와 같은 적응함으로써, 우리는 토토사이트 슈퍼맨 TFT를위한 인쇄 및 제조 기술을 점차적으로 설정할 계획입니다.
 
  이 결과는 2004 년 8 월 25 일부터 도쿄에서 개최 될 활성 매트릭스 액정 디스플레이 (AM-LCD'04 : Active-Matrix 액정 디스플레이에 대한 열한 번째 국제 워크숍)에 대한 제 11 회 국제 워크숍에서 발표 될 예정입니다.
 
 

포인트

 
토토사이트 슈퍼맨 TFT에서, 우리는 액정 디스플레이 제조 공정에서 성능 악화를 억제하는 보호 필름 기술을 개발했습니다.
토토사이트 슈퍼맨 TFT에서, 우리는 토토사이트 슈퍼맨 반도체와 전극 사이의 접촉 인터페이스로 인한 저항을 줄이는 기술을 개발했습니다.
위의 기술에 따르면, 우리는 토토사이트 슈퍼맨적 TFT 드라이브로서 세계에서 가장 높은 해상도를 가진 토토사이트 슈퍼맨 TFT 기반 컬러 액정 디스플레이의 프로토 타입을 성공적으로 제작했습니다.
 
 

연구 배경

 
   토토사이트 슈퍼맨 TFT는 솔루션 재료를 인쇄하여 저렴한 비용으로 생산 될 수 있으며 실온 프로세스를 사용하여 유연한 플라스틱 기판에 형성 될 수 있으므로 전자 용지를 포함한 시트 디스플레이에 적용하기 위해 연구 및 개발이 국제적으로 더욱 활성화되고 있습니다. 최근에, 성능은 액정 디스플레이 제품을 구동하는 데 사용되는 비정질 실리콘 TFT를 초과하는 것으로 나타 났으며, 토토사이트 슈퍼맨 TFT를 사용한 프로토 타입 디스플레이에 대한 일련의 보고서 가보고되었다. 그러나 지금까지 디스플레이 요소는 토토사이트 슈퍼맨 TFT에 쉽게 부착 할 수있는 요소로 제한되며, 평평한 디스플레이의 주류 인 액정을 사용하여 거의 개발되지 않았습니다. 이는 토토사이트 슈퍼맨 TFT와 토토사이트 슈퍼맨 TFT의 분해없이 쌓인 액정 디스플레이 요소 사이에 중재로 형성 될 수있는 보호 필름이 개발되지 않았으며, 이는 액정 디스플레이 요소를 형성 할 때 토토사이트 슈퍼맨 TFT 성능의 악화를 방지하기 때문이다. 따라서 성능 저하를 기대할 수 있도록 설계된 큰 토토사이트 슈퍼맨 TFT 크기는 픽셀 크기를 결정했으며 제품 수준에서 고화질 액정 디스플레이를 형성 할 수 없었습니다.
 
 

연구 기록

 
AIST는 구조, 반도체 재료 및 절연 재료와 같은 인쇄 방법을 사용하여 제조 할 수있는 유기 트랜지스터를 개발해 왔습니다. 토토사이트 는 유기 TFT를 디스플레이의 드라이브 스위치로 개발하고 있습니다. 2002 년부터 그들은 NEDO Technology Development Organization의 시운전 프로젝트 인 "매우 효율적인 유기농 장치 개발 (2002-2006)으로부터 약간의 지원을 받았으며, 둘 다 Light Association의 추가로 연구를 수행하고 있습니다.
 
 

연구 컨텐츠

 
AIST, Hitachi 및 Hikari Association은 토토사이트 슈퍼맨 TFT 성능 및 보호 필름 기술을 개선하는 기술을 개발했으며,이를 고화질 토토사이트 슈퍼맨 TFT 중심 컬러 액정 디스플레이를 성공적으로 프로토 타입으로 결합했습니다 [그림 1].
 
(1) 토토사이트 슈퍼맨 반도체를 처리하고 껍질을 벗기고 악화를 방지하는 기능이있는 복합 구조 코팅 보호 필름이 개발되었습니다.
 
  토토사이트 슈퍼맨 TFT 구동 컬러 액정 디스플레이에서 구동 스위치 및 액정 디스플레이 요소로서의 토토사이트 슈퍼맨 TFT는 픽셀을 형성하기 위해 결합되지만,이 경우 토토사이트 슈퍼맨 TFT 위에 액정 디스플레이 요소를 제조 할 때, 다양한 공정 부하가 토토사이트 슈퍼맨 TFT에 적용되며, 토토사이트 슈퍼맨 TFT는 종종 제조 과정에서 손상되기 때문에 전치를 얻지 못할 수 있습니다. 지금까지, 그러한 출력 전류 감소를 기대하면서, 우리는 더 큰 크기의 토토사이트 슈퍼맨 TFT를 형성함으로써 이것을 다루었습니다. 이번에는 액정 디스플레이 요소를 제조하는 과정에서 공정 부하를 최소화 할 수있는 적용된 보호 필름을 개발했습니다. 이를 통해 작은 크기의 토토사이트 슈퍼맨 TFT가 필요한 기능을 수행 할 수있어 정의가 향상됩니다.
 
(2) 토토사이트 슈퍼맨 반도체와 접촉하는 금속 전극의 모양을 성공적으로 최적화하여 접촉 인터페이스로 인한 저항을 약 1/5까지 줄였습니다.
 
토토사이트 슈퍼맨 TFT에서 주로 금속으로 구성된 출처*7및 배수 전극*7및 토토사이트 슈퍼맨 반도체 층 접촉은 출력 전류를 감소시킨다. 이 개발에서, 우리는 전극을 형성하기 위해 많은 노력을 기울여 고품질의 반도체 박막을 형성하고 토토사이트 슈퍼맨 반도체와 전극 사이의 계면에서 생성 된 접촉 저항을 감소시키는 데 성공했습니다. 이로 인해 토토사이트 슈퍼맨 TFT의 성능이 향상되었습니다.
 
(3) 이번에 성공적으로 프로토 타입 한 토토사이트 슈퍼맨 TFT 구동 컬러 LCD 디스플레이의 사양은 다음과 같습니다.
 
화면 크기는 1.4 인치 대각선입니다. 픽셀의 수는 80 x 80 (RGB)이고 픽셀 크기는 318muM × 106mum (RGB), 80ppi 정의, 컬러 디스플레이 가능 [그림 1, 2 및 표 1 참조]. 이 디스플레이는 현재까지 프로토 타입으로 된 토토사이트 슈퍼맨 TFT 구동 액정 디스플레이로서 세계에서 가장 높은 정의를 가지고 있습니다.
 
그림 1. 프로토 타입 토토사이트 슈퍼맨 TFT 중심 컬러 액정 디스플레이 패널 / 그림 2. 프로토 타입 패널의 픽셀
 
표 1. 패널 사양
 
패널 크기 1.4 인치
정의 80ppi
픽셀 카운트 80 x 80 (RGB)
픽셀 크기 318muM x 106mum (RGB)
TFT 크기 W/L 50mum / 5muM
픽셀 용량 3pf
신호 전압 10V
스캔 전압 35V
운전 주파수 60Hz
 
  또한, 유기 반도체/전극 인터페이스의 독창성을 통한 유기 TFT 성능의 개선은 NEDO 기술 개발 기관이 의뢰 한 프로젝트 인 "고효율 유기농 장치의 개발"을 통해 달성되었습니다.
 
 

미래 계획

 
  토토사이트 슈퍼맨 TFT는 인쇄 방법을 사용하여 플라스틱과 같은 유연한 기판에 제작 될 수 있으며 전자 용지 주행을위한 가장 유망한 기술 중 하나 일 것으로 예상됩니다. 이 프로토 타입에서, 보호 필름을 제외한 모든 것은 진공 과정 및 포토 리소 그래피입니다.*8를 사용하여 제작되고 있으며, 앞으로는 현재 개발중인 정렬없는 제조 방법과 같은 토토사이트 슈퍼맨 TFT 인쇄 방법을 적용하고 인쇄 TFT에 의해 구동되는 고화질 디스플레이를 개발할 계획입니다.
 
  저비용 인쇄 방법을 사용하여 형성 할 수있는 토토사이트 슈퍼맨농 TFT의 이러한 기능을 사용하는 유비쿼터스 정보 학회는 모든 사람과 모든 것을 네트워크와 연결합니다*9의 방향으로 생성 될 것으로 예상됩니다.
 
 

터미널 설명

 
 
*1 토토사이트 슈퍼맨 박막 트랜지스터 (토토사이트 슈퍼맨 박막 트랜지스터)
활성 층에 토토사이트 슈퍼맨 반도체를 사용하는 박막 트랜지스터.
*2 ​​e-paper
종이 층, 유연한 디스플레이. 전자 신문, 전자 책, 전자 광고, 전자 문서 용지, 전자 노트북 용지 등에 사용되는 대체 용지 디스플레이가되기를 희망합니다.
*3 실온 프로세스
정상적인 반도체 제조 공정은 항상 섭씨 수백 도의 고온에서 가공을 포함합니다. 이는 프로세스 자체에 많은 에너지가 필요하다는 것을 의미합니다. 또한, 전자 장치가 플라스틱과 같은 플라스틱 기판에 형성 될 때,이 유연한 기판에 형성된 유연한 전자 장치는 더 충격적인 내성이되므로 휴대용 전자 장치에 적응하는 것이 매우 바람직하다. 그러나, 생산 공정에 고온 처리 단계가 적용되는 경우, 플라스틱 기판이 녹을 것이며, 이러한 유연한 전자 장치는 고온 공정에서 실현할 수 없습니다.
*4 비정질 실리콘 TFT
비정질 실리콘으로 만들어진 활성 층이있는 박막 트랜지스터. 현재 액정 디스플레이를 구동하는 데 사용됩니다.
*5 시트 디스플레이
전자 ​​용지 또는 전자 스크린과 같은 시트 모양의 플랫 디스플레이. 저렴하고 대량 생산해야 할 필요가 있습니다.
*6 정렬없는 제조 방법
최소 차원 5mu인쇄에 의해 M 미만의 장치 구조가 형성되는 토토사이트 슈퍼맨 TFT의 인쇄 방법.
*7 소스 전극, 배수 전극
박막 트랜지스터를 구성하는 전극의 이름. 이것 외에는 게이트 전극이 있습니다.
*8 Photolithography
전체 기판 상에 형성된 박막이 마스크로 형성된 포토 레지스트를 사용하여 박막 부품을 형성하여 제거하고 제거하는 반도체 공정에 사용 된 부분 형성 방법.
*9 유비쿼터스 정보 협회
위치 나 시간에 제한을받지 않고 "언제 어디서나"정보를 교환 할 수있는 안전하고 편안한 정보 사회. 사람들을위한 정보 터미널 장치로서 시트 디스플레이, 객체의 정보 터미널 장치로서 IC 태그가 필요합니다.
 
 

연락처 정보

 
홍보 비즈니스 사무실, 홍보 연구소, 고급 산업 과학 기술 연구소 [담당 : Otake]
1-1-1 Umezono, Tsukuba City, Ibaraki 현, 305-8568, Chuo 2nd Tsukuba 본사, 정보 기술 공동 연구 구축 8F
전화 : 029-862-6216 팩스 : 029-862-6212
 
이메일 보내기 이메일 :presec@m.aist.go.jp
 
토토 사이트. Central Research Institute
280 Higashi-Keigakubo 1-Chome, Kokubunji City, 도쿄 185-8601
전화 : 042-327-7777 (다이얼 인)
 
 
 
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