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2005 년 4 월 4 일
Tohoku University Institute of Electrical Communications
토토 사이트.

실온에서 세계에서 가장 높은 자성상 비율 287%
골드문 토토사이트 요소를 성공적으로 개발했습니다

고속 저전력 MRAM 실현 경로 수행

 

Tohoku University Electrical Communications Institute (Director : Ito Hiromasa / Heallyinafter, Tohoku University) 및 토토 사이트. Basic Research Institute (Director : Nagagabe Nobuyuki / Heighinafter, Hitachi) Ohno Hideo 교수*1tUnnelMagnetor골드문 토토사이트이라고하는 Esistance/Hightinafter가 성공적으로 개발되었습니다. 골드문 토토사이트 요소는 여러 나노 미터의 두께로 매우 얇은 강자성 필름을 사용합니다.*2사이에 샌드위치 된 3 개의 층으로 구성됩니다. 2 개의 강자성 필름의 상대 자화 방향은 전류를 통과함으로써 제어되며, 자화 방향이 동일하고 반대 방향 일 때 전기 저항이 극적으로 변하는 "터널 자성상 전환 효과 (TMR 효과)라는 현상을 사용합니다. 자기 랜덤 액세스 메모리 (MagnetorestiverandomaccessMEmory/아래 : MRAM)*3마그네상 레지던스의 변화를 켜기/오프 신호로 사용하지만 속도를 높이기 위해서는 전력 소비를 위해, 높은 자력 저항 효과 비율을 갖는 골드문 토토사이트 요소가 필수적이므로, 작은 전류가있는 온/오프 신호에 필요한 마그네상 저항 변화를 허용합니다. 이 성과는 미래의 고속 저전력 MRAM으로가는 길을 열어 줄 것으로 예상됩니다.
   이 결과는 "고기능, 초력 메모리의 개발"프로젝트 (프로젝트 리더 : Ohno Hideo/교수, 나노 스핀 실험 시설, Tohoku University의 전기 커뮤니케이션 연구소와 제휴 한)에서 수행되었습니다.

  1995 년 실온에서 골드문 토토사이트 효과가 발견 된 이래로, 골드문 토토사이트 요소의 연구 및 개발은 전 세계적으로 자성상 비율을 높이기 위해 전 세계적으로 발전하고 있지만, 최근에는 자성상 비율이 높은 골드문 토토사이트 요소에 대한 보고서가 작성되었으며, 2004 년에는 2004 년에 230%의 마그네토 레스트 비율을 가진 골드문 토토사이트 요소가 230%의 자석적 비율을 가진 골드문 토토사이트 요소를 사용했습니다. 코발트 철 붕소로서) 강자성 필름과 단열 필름으로서 산화 마그네슘으로서. 또한, 2005 년 3 월, 자기 저항 비율은 268%로 증가 할 것으로 밝혀졌다.*4

  이 배경에 대한 응답으로 Ohno 교수와 Hitachi 연구팀은 매우 높은 자력 비율을 갖는 골드문 토토사이트 요소에 중점을 두 었으며 260%이상의 자기 저항성 비율을 달성하여 이전에보고 된 268%의 자기 저항성 비율과 동일한 특성을 재현했습니다. 추가 연구의 결과로, 우리는 가장 높은 출력 전력을 갖춘 금속 기반 골드문 토토사이트 장치를 성공적으로 개발했으며, 이는 실온에서 287%의 자기 자기 저항율을 나타냅니다. 또한, 저온에서도, 403%의 자기 저항율이 관찰되었으며, 이전에보고 된 것보다 상당히 높았다. 우리가 개발 한 매우 높은 자기 정상 비율로 골드문 토토사이트 요소를 제조하는 프로세스의 주요 특징은 다음과 같습니다.

 

(1) 스퍼터링 방법*5

코발트 아이언 붕소는 강자성 필름에 사용되며 산화 마그네슘은 절연 필름에 사용되며, 필름은 대량 생산에 일반적으로 사용되는 스퍼터링 방법을 사용하여 형성됩니다. 결과적으로 원자 수준에서 매끄 럽습니다.*6의 코발트 아이언 붕소 필름을 형성 할 수 있습니다. 그리고 완전히 결정질 마그네슘 필름.

 

(2) 최적의 온도에서 열처리에 의한 결정 필름 형성

단열 필름과 강자성 필름을 형성 한 후, 비정질 코발트 철분 붕소 필름은 결정화됩니다 (신체 중심 입방 격자*7) 및 골드문 토토사이트 요소를 구성하는 각 필름은 완벽한 결정 구조를 가진 필름으로 변형됩니다.

  2001 년 서부 연구원들은 이론적으로 성능이 1000%에 가까울 수 있다고 예측했다고보고했습니다.*8. 당시 실험에서 이러한 높은 자성상 비율이 얻어지지 않았지만, 이론은 필름 형성 기술의 발전으로 확인되었으며 최적의 조건을 찾음으로써 매우 이상적인 인터페이스의 생성이 가능하다고 여겨진다.

 

용어집

 
 
*1 Magnetoresistance 비율 :
  강자성 필름, 절연 필름 및 강자성 필름으로 구성된 터널 마그네상 스티어 리스티브 요소에서, 두 개의 강자성 필름의 자석이 반대 변형 상태에서 전기 저항이 극적으로 변하는 현상은 터널 마그네토리 효과라고 불립니다. 자기 저항율은 상기 언급 된 전기 저항에서 병렬 상태에 대한 변화량의 계산 된 비율 (%)이다.
 
*2 강자성 필름 :
  FERROMAGNETISM은 자석을 끌어들이는 강력한 자기 속성이며,이 특성을 나타내는 물질을 철, 코발트 및 니켈과 같은 강자성 재료라고합니다. 강자성 필름은 강자성 물질로 만든 박막입니다.
 
*3 자기 랜덤 액세스 메모리 (MagnetorestiverandomaccessMEmory) :
  TMR 요소를 사용하여 기록하고 재생할 수있는 비 휘발성 메모리 (RAM)는 높은 통합, 고속 및 저전력 소비를 제공 할 것으로 예상됩니다. 자기 정보는 메모리를 구성하는 배선을 통해 전류를 전달함으로써 공간적으로 생성 된 자기장을 사용하여 TMR 요소에 기록됩니다. 이 자기장은 하나의 강자성 필름의 자석 (자화)의 방향 만 역 만되며, 예를 들어, 상부 및 하부 강자성 층의 자화 방향이 각각 "0"및 "1"정보로 사용되는 상태입니다. 읽기 자기 정보는 정보 "0"및 "1"에 따라 변화하는 TMR 요소의 저항을 감지하고 그것이 낮은 전기 저항 상태 (평행 한 "0"상태)인지 또는 높은 전기 저항 상태 (항-팔렐 "1"상태인지 여부를 식별하는 것입니다.
 
*4 2004 년 이후 보고서 :
  2004 년, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology의 연구팀은 강자성 필름과 산화물 마그네슘을 사용하여 골드문 토토사이트 장치에서 실온에서 180%의 자력 비율을 성공적으로 관찰했으며, 자연 재료 부피 3에서는 자연 재료 규모에 대해보고했다. 실온에서 230%, 저온에서 294%의 자기 저항율은 강자성 필름에 코발트 철 붕소를 사용하고 절연 필름에 산화 마그네슘을 사용하여 골드문 토토사이트 장치를 사용하여 관찰되었다. 가장 최근 에이 회사는 봄에 응용 부서의 52 번째 연합에서 실온에서 268%를보고했습니다.
 
*5 스퍼터링 방법 :
  스퍼터링은 가속 입자가 고체 표면과 충돌하고 고체 표면 근처의 원자 또는 분자에 의해 수신 된 입자의 운동 에너지에 의해 반발되는 현상이다. 종래의 스퍼터링 방법은 아르곤 이온 입자가 표적 물질 (정상 표적이라고 함)과 충돌하고 표적 물질의 입자가 기판에 증착되어 박막을 형성하는 방법이다.
 
*6 비정질 :
  이것은 물질을 구성하는 원자가 배열에 규칙 성이없는 상태를 나타냅니다. 비 연태 항목을 결정질이라고합니다.
 
*7 바디 중심 입방 격자 :
  8 개의 정점이있는 공간 격자와 중앙에 단위 셀로 격자가있는 큐브.
 
*8 2001 년 이론적 예측 :
  서부 이론적 연구자들은 물리적 검토 문자 책 63에서 이론적 계산을 사용하여 1000% 자력 비율이 소성 필름에 완전 결정질 철분으로 형성된 골드문 토토사이트 장치에서 1000% 자력 비율을 얻을 수 있다고 보도했다. 철 박막과 산화 마그네슘 박막 사이의 경계 (인터페이스)에서 생성 된 미세한 전자 상태의 중요성은 높은 자기 정제비를 달성하는 데 중요하다는 것이 밝혀졌다. 또한 2004 년 국립 고급 산업 과학 기술 연구소 (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)의 연구팀은 실험 테스트를 수행했으며, 180%의 자기 저항 비율이 관찰되었으며, 현재 산화 마그네슘을 절연 필름으로 사용하여 골드문 토토사이트 장치에 대한 연구를 시작했습니다.
 
 
 

연락처 정보

토토 사이트. Central Research Institute 계획 사무소 [책임 : Uchida, Kinoshita]
1-280 Higashi-Kigakubo, Kokubunji City, 도쿄 185-8601
전화 : (042)327-7777 (다이얼 인)

 
 

 
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