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토토 사이트. Central Research Institute (Director : Hitachi라고 불리는 후부 나가 야스시)은 최근 반도체 장치 내부에서 생성 된 결정 결함을 몇 분 안에 몇 개의 수십 개의 해상도로 관찰 할 수있는 새로운 결정 결함 토토사이트 토토카페 기술을 개발했습니다. 이 토토사이트 토토카페 기술은 관찰 된 시편의 사전 치료가 필요하지 않으며 장치를 파괴하지 않고 내부를 관찰 할 수 있으므로 반도체 장치의 제조 공정에 적용 할 수 있습니다. 점점 소형화되고있는 반도체 장치의 개발에 짧은 TAT*1이것은이를 변환하는 데 효과적인 토토사이트 토토카페 기술이라고 말할 수 있습니다.

  반도체 장치가 더 세련되면서 검사 및 토토사이트 토토카페 프로세스에는 고해상도가 높은 토토사이트 토토카페 기술이 필요하므로 사용자는 장치 내부에서 발생하는 작은 결정 결함을 관찰 할 수 있습니다. 일반적으로 장치 내부의 결정 결함을 토토사이트 토토카페하는 전형적인 방법은 TEM (transmissioneLectronmicroscopy)*2및 EBIC (eLectronBeami파생Current) 메소드*3가있었습니다. TEM은 고해상도가 1 나노 미만인 효과적인 토토사이트 토토카페 방법이지만, 관찰 할 때는 관찰 영역을 더 얇게하기 위해 장치를 파괴해야합니다. 또한 관찰을 준비하기 위해 샘플을 사전 처리하는 데 수십 분이 걸립니다. 이러한 이유로 제조 공정에서 장치 토토사이트 토토카페에는 적용되지 않았습니다. 반면에, EBIC 방법은 관찰 샘플을 준비하는 데 몇 시간이 걸리지 만 장치를 파괴하지 않고 내부 결정 결함을 관찰 할 수는 있지만 해상도는 숫자로 제한됩니다.M- 지표, 높은 관찰 감도가 불가능하다는 데 어려움이있었습니다. 이러한 이유로, 반도체 장치의 소형화에 해당하는 장치의 신뢰성을 향상시키고 개발 기간을 단축하기 위해서는 제조 공정에서 사용될 수 있고 NM 순서에 따라 고해상도를 갖는 새로운 결정 결함 토토사이트 토토카페 기술이 필요하다.

  이러한 배경으로 인해 토토사이트 는 반도체 장치 내부에서 생성 된 결정 결함의 비파괴 적 및 짧은 TAT 평가를 허용하는 "Probing EBIC"라는 새로운 결정 결함 평가 기술을 개발했습니다.
  프로브 EBIC 방법의 특징은 다음과 같습니다.

(1) 프로브를 사용한 EBIC 관찰 방법 : 종래의 EBIC 방법에서, 금속 필름을 샘플 표면에 증착하여 전극을 형성하고, 장치 내부의 신호를 읽었다. 이번에는 프로브 방법이 적용되어 금속 프로브 (바늘)에 직접 접촉하여 신호를 읽음으로써 신호를 읽어 전극 형성 공정없이 결정 결함의 토토사이트 토토카페를 허용합니다.

(2) 나노 미터의 순서에 대한 고해상도 관찰 : 전통적인 EBIC 방법에서는 샘플 표면에 금속 전극이 형성되어 있기 때문에 전자 빔이 샘플에 도달하도록 가속 전압을 증가시켜야했습니다. 높은 가속 전압 (예 : 5kV)에서 샘플 내부의 전자 빔의 범위는 다음과 같습니다.*4숫자m, 이것이 해상도 감소의 이유였습니다. 샘플 표면에 금속 전극이 없기 때문에 이번에는 기술이 개발되면, 저속 전자 빔을 사용하여 샘플 내부의 전자 빔의 범위를 억제하여 해상도를 향상시킬 수 있습니다.

 이번에 개발 된 조사 EBIC 방법은 SI/SIGE 변형층*5를 갖는 차세대 트랜지스터의 결정 결함 토토사이트 토토카페에 적용될 때, 1.5kV의 가속 전압 조건에 따라 50 nm의 해상도에서 결정 결함이 관찰되었다. 이는 기존의 EBIC 방법보다 2 배 이상 높은 분해능을 갖는 것으로 확인되었습니다.
이 기술은 미래에 새로운 구조와 새로운 재료가 도입 될 것으로 예상되는 반도체 장치에서 샘플을 파괴하지 않고 짧은 시간과 고해상도로 내부 결함을 토토사이트 토토카페할 수있는 검사 기술 일 수 있습니다.

  이 결과는 2005 년 4 월 11 일부터 13 일까지 교토에서 개최 될 2005 년 캔자이 (2005imfedk)의 Future of Electron 장치를위한 2005 년 국제 회의에서 발표되었습니다.

용어

*1	tat : 턴-아웃 시간에 대한 약어. 이는 일련의 단계의 루프에 필요한 시간을 의미합니다 : 샘플링, 토토사이트 토토카페 및 프로세스에 대한 피드백. 개발 시간을 줄이려면이 피드백 루프에서 소요되는 시간을 단축하는 것이 중요합니다.
*2	TEM : TEM은 투과 전자 현미경으로도 알려진 전달 전자 현미경을 나타냅니다. 이것은 전자 빔이 샘플에 평행하게 조사되고 샘플로부터의 회절 전자가 결정 구조 등을 토토사이트 토토카페하는 데 사용되는 기술입니다. 결함이있는 영역에서, 결함이 선정의 결정 (주기성)의 교란으로 인한 다른 대비로 관찰됩니다. 전자 빔은 파장이 매우 짧으므로 높은 해상도를 가지며, 공간 분해능 0.2nm로 결정 결함을 토토사이트 토토카페할 수 있습니다.
*3	EBIC 방법 : EBIC는 전자 빔 유도 전류를 나타내며 전자 빔 유도 전류라고도합니다. 전자 빔의 에너지는 전자 구멍 쌍을 형성하고 형성된 전자 및 구멍은 고갈 층의 내부 전기장으로 인해 반대 방향으로 흐릅니다. 이 내부 전기장을 통해 흐르는 전류를 전자 빔 유도 전류라고합니다. 전자 빔 여기 전류는 결정 결함에 민감하며,이 EBIC 신호를 감지함으로써 결정 결함을 토토사이트 토토카페할 수 있습니다.
*4	전자 ​​빔 범위 : 전자가 샘플 내부에 퍼지는 거리. 전자 빔이 샘플에 인시되면, 에너지가있는 전자는 샘플 내부의 원자와 충돌하고 에너지를 잃고 에너지가 사라질 때까지 샘플 전체에 퍼집니다. 예를 들어, 샘플에서 전자 빔의 가속 전압이 1.5kV 인 조건 하에서, Si 내부의 스프레드는 수십 개의 Nm이다.
*5	Si/Sige 변형 층 : Si 층이 시그 층에 적층됩니다. Si 층은 Si 원자보다 더 큰 원자 간격을 갖는 GE 원자를 함유하는 층에 적층되어 Si의 격자 간격을 증가시킨다. SI/SIGE 프로세스는 SI의 격자 간격을 증가시켜 전자 이동성이 증가함에 따라 고속 장치를 실현하는 주요 기술이 될 것으로 예상됩니다.

연락처 정보

토토 사이트., Central Research Institute Planning Office [담당 : Uchida, Kinoshita]
280 Higashi-Keigakubo 1-Chome, Kokubunji City, 도쿄 185-8601
전화 : 042-327-7777 (다이얼 인)

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