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   생산 기술 연구 연구소 (이사 : Hitachi라고 불리는 ITO Fumikazu/Hightinafter)는 최근 약 200도에서 유리 및 보스토토의 양극 접착을 가능하게하는 새로운 본딩 기술을 개발하는 데 성공했습니다. 이 기술은 이전에 약 400 도의 결합 온도가 필요했기 때문에 열 내성 재료와 구조가 높은 웨이퍼의 사용으로 제한되었습니다. 그러나, 결합 온도를 솔더의 융점 아래로 낮추면, 이번에는, 솔더, 수지 및 기타 유리 웨이퍼를 함유하는 보스토토 웨이퍼 사이의 양극 결합이 가능하다. 이를 통해 MEM을 유리 웨이퍼에 결합 할 수 있습니다.*이 기술은 가공 된 보스토토 웨이퍼에서 솔더, 수지 등을 사용하여 필름을 형성 할 수 있으며, 장착 부품을 형성 할 수있는 새로운 가능성을 나타냅니다.

 양극 결합은 보스토토, 금속 등을 갖는 유리를 층화하고 열과 전압을 적용함으로써 친밀한 결합의 방법이다. 원리는 유리 쪽을 가열하고 음극과 보스토토쪽에 보스토토쪽에 전압을 적용하는 것입니다. 양극과 함께 유리의 양이온을 강제로 확산시키고 유리와 보스토토 사이의 정전기 인력을 생성하고 접착력을 향상시키고 유리와 보스토토을 화학적으로 반응하여 결합합니다. 지금까지, 양이온의 확산에 충분한 화학 반응을 허용하기 위해 약 400 도의 고온이 필요했으며, 땜납 또는 수지와 같은 필름이있는 웨이퍼는 이들에 큰 손상을 입히고 그 응용이 제한되었습니다. 그러나, 결합 온도를 낮추는 것은 양극 결합을 사용하여 MEMS 또는 광학 성분과 같은 솔더 또는 수지를 함유하는 가공 웨이퍼를 집합 적으로 밀봉해야하기 때문에 주요 문제가되었다.

  이번에는 토토사이트 는 낮은 접합 온도에서도 전압을 적용하는 방법을 최적화했으며, 보스토토 상에 활성 금속 박막을 형성함으로써 약 200 도의 온도 범위에서도 강력한 접합을 달성 할 수 있음을 밝혀 냈습니다. 개발 기술은 다음과 같습니다.

(1) 접합 패턴에 따른 전극 필름 형성

 전극 필름은 유리 웨이퍼의 상부 표면에 형성되며, 유리 및 보스토토 조인트의 패턴에 상응합니다. 이를 통해 전기장이 전압이 적용될 때 접합부에 집중할 수 있으므로 붕소 유리와 같은 전형적인 유리 재료에 대해서도 200도에서 결합 할 수 있습니다.

(2) 알루미늄 증기 증착에 의한 개선 된 결합 강도

  보스토토 웨이퍼에서 표면에 알루미늄 박막을 형성함으로써, 유리의 알루미늄 및 산소는 강한 결합을 얻기 위해 반응합니다.

  우리는 개발 된 기술을 사용하여 보스토토 웨이퍼에 알루미늄 박막을 형성하고 결합함으로써 200도 결합에서도 기존의 400도 결합의 강도를 달성하여 유리 강도 자체에 비해 높은 강도를 초래할 수 있음을 입증했습니다. 개발 된 저온 양극 결합 기술은 솔더 및 수지를 함유 한 웨이퍼를 사용하여 MEMS 장치를 밀봉하고 유리 광학 부품의 웨이퍼 수준 장착을 실현하는 데 필요하며 실제 사용을 위해 문제를 신속하게 해결할 계획입니다.

  이 기술은 2005 년 워크숍 : Advanced 구현 기술에서 발표되어 2005 년 9 월 8 일부터 9 일까지 전자 공학 구현이 주최하는 글로벌 경쟁에서 우승 할 예정입니다.

*	mems : 마이크로 전기 기계 시스템의 약어. 반도체 제조 공정 기술을 기반으로 한 고급 가공 기술을 기반으로하는 제품 및 기술의 일반적인 용어이며, 압력 센서, 가속 센서 등은 다양한 에칭 기술을 사용하여 제조됩니다.

연락처 정보

토토 사이트., 생산 기술 연구소 계획 사무소 [담당 : Suzuki, Kanda]
292 Yoshidacho, Totsuka-Ku, Yokohama, Kanagawa 244-0817
전화 : 045-860-1678 (Direct)

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