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2006 년 6 월 13 일
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토토 사이트 Chemical Industries, Ltd

차세대 메모리 장치를위한 초고속 토토 사이트사이트 디오스 상수 필름 재료 및 배선 기술 개발

상대적인 유전 상수 24, 800 ° C로의 내열성 향상 및 배선 공정이 단순화 된 필름 강도의 2 배

 

   

   *1증가하고 있으며, 이로 인한 신호 지연과 전력 소비가 문제가되고 있습니다 따라서 최소 처리 치수가 50nm 이하의 차세대 메모리 장치에서는 요소와 배선 토토 사이트의 상대 유전 상수가 필요합니다*2기생 커패시턴스를 줄이기 위해 그러나 일반적으로 단열 필름의 유전 상수가 낮을수록 필름 강도 및 내열이 낮아지고,이를 사용하려면 복잡하고 비싼 과정이 필요합니다 지금까지, 토토 사이트 사이트 사이트 사이트 사이트 사이트 사이트와 토토 사이트 사이트 사이트 사이트 사이트 사이트 사이트 Chemical은 이전에 코팅 형 저 유전체 필름 재료 (29 상대 유전 상수)와이를 사용하는 배선 공정을 실질적으로 사용했지만 25 이하의 상대 유전체 상수를 갖는 "Ultra"저 유전체 필름의 실질적인 사용을 위해 재료와 프로세스의 개선이 필요했습니다

   

 

(1) 높은 평평성, 필름 강도 및 내열을 결합한 코팅 유형 절연 필름 재료

   

 

(2) 배선 프로세스의 단순화

   

   

 

용어집

 
 
*1 기생 능력
이것은 인접한 배선과 interrayer 단열 필름이 그들 토토 사이트에 끼워질 때 발생하는 전기 용량은 커패시터 역할을합니다 배선 간격이 작을수록 기생 커패시턴스가 커집니다
*2 관련 유행성전기장이 외부에서 적용될 때 재료의 원자 (또는 분자)가 어떻게 반응하는지에 의해 결정되는 상수 상대 유전 상수가 낮을수록 기생 커패시턴스가 낮아집니다
 
 

연락처 정보

토토 사이트 Central Research Institute 계획 사무소 [담당 : Kinoshita, Hanawa]
280 Higashi-Keigakubo 1-Chome, Kokubunji City, 도쿄 185-8601
전화 : 042-327-7777 (다이얼 인)

토토 사이트 Chemical Industry Co, Ltd 기업 계획 사무실 홍보 및 IR 그룹 [담당 : Hasegawa, Noguchi]
2-1-1 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-Ku, 도쿄 163-0449
전화 : 03-5381-2377 (다이얼 인)

 

 
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