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2007 년 5 월 23 일

코팅 제조 방법을 토토사이트 공지여 유기 박막 트랜지스터를위한 어레이 형성 기술을 개발했습니다

반도체, 게이트 절연 필름 및 보호 필름은 코팅 방법, 0.1cm²달성/v ・ S

  토토 사이트. (임원 : Furukawa Kazuo / Heencialinafter, Hitachi), Asahi Kasei Co., Ltd. (대통령 : Hiruta Shiro / Heenciinafter, Asahi Kasei), 고급 산업 기술 연구소 (회장 : Yoshikawa Hiroyuki / Highiinafter, Aist), Promision of the Promision (의장 : Yoshikawa hiroyuki / 이하) Hikari Association, Nomaguchi Ari / Heenginafter)는 최근 코팅 제조 방법을 토토사이트 공지여 코팅 제조 방법을 토토사이트 공지여 유기농 박막 트랜지스터 (유기 TFT)가 매트릭스에 배열되는 어레이 형성 기술을 개발했습니다.

이 기술은 액정 디스플레이의 유기 TFT 어레이에 픽셀 스위치를 사용합니다*1를 토토사이트 공지기위한 것입니다. 이 기사에서, 우리는 반도체 필름, 게이트 절연 필름 및 보호 필름의 형성에 대한 비용을 줄이는 데 유리한 코팅 방법을 사용했으며, 코팅 방법을 토토사이트 공지는 유기적 TFTS에서 문제가되었던 반도체 필름에서 결정 입자 경계의 형성을 억제함으로써 이동성 성능을 향상시키는 데 성공했다. 이번에는 화면 크기가 5 인치 크기의 디스플레이를 지원하는 유기 TFT 어레이를 만들고 240 x 320 (QVGA에 해당)의 픽셀 카운트가있는 RGB 디스플레이를 지원했습니다.*2평균 0.1cm²/v ・ s, 작은 LCD 디스플레이와 함께 사용할 수있는 성능을 달성합니다. 유기농 TFT 기술은 저렴한 비용으로 차세대 디스플레이 장치 일 것으로 예상되는 시트 디스플레이를 제조하는 기술로 주목을 끌고 있지만 실질적인 사용을 위해 큰 진전을 이루었습니다.

*1

TFT 어레이 : 박막 트랜지스터가 기판의 매트릭스에 배열되는 기판.

*2

이동성 : 트랜지스터의 성능 표시기 중 하나이며, 충전 용이성 이동, 즉 전하가 트랜지스터 내에서 이동하는 속도를 나타냅니다. 이 값이 높을수록 트랜지스터가 더 빨리 작동합니다. 픽셀로 TFT를 토토사이트 공지면 디스플레이가 켜집니다. 이동성이 높을수록 화면이 커집니다.

  이 결과는 2007 년 5 월 20 일부터 미국 롱 비치에서 개최되는 디스플레이에 관한 국제 컨퍼런스 인 The Society for Information Display 2007에서 발표 될 것입니다.

기술 개발 배경

  최근 몇 년 동안 얇고 가벼우 며 플라스틱 기판을 궁극적 인 얇은 디스플레이로 토토사이트 공지는 시트 디스플레이에 대한 기대치가 높았습니다. 이 시트 디스플레이를 저렴한 비용으로 제조하는 기술로서, 액정 디스플레이와 같은 디스플레이 요소에 대한 픽셀 스위치에서 유기 TFT를 활용하기 위해 연구 및 개발이 적극적으로 수행되고 있습니다. 유기 TFT는 현재 디스플레이 제품에 사용되는 실리콘 TFT보다 공정 온도가 낮기 때문에 필름과 같은 플라스틱 기판에 직접 형성 될 수 있으며, 코팅 방법을 토토사이트 공지여 형성함으로써 생산성을 향상시키고 장비 비용을 줄이는 데 큰 이점이있는 진공 장치의 필요성을 제거 할 수 있습니다.
 그러나, 일반적으로, 코팅 방법을 토토사이트 공지는 유기 TFT는 반도체 필름에서 많은 입자 경계를 생성하여 트랜지스터의 이동성이 감소한다는 문제를 일으킨다. 이동성은 비디오 디스플레이 성능의 지표이며,이 값이 클수록 화면이 클수록 과거에는 코팅 방법을 토토사이트 공지는 유기 TFT가 실제 이동성 성능을 달성하지 못했습니다. 또한, 픽셀 스위치를 토토사이트 공지려면 매트릭스에 배열 된 유기 TFT 배열을 형성해야합니다. 이러한 이유로, 입자 경계가 거의없는 넓은 영역을 갖는 반도체 필름과 같은 유기 TFT의 어레이에 해당하는 코팅 및 제조 기술의 개발에 대한 요구가 있었으며, 유기 TFT의 상단에서 디스플레이 요소가 형성 될 때 형성 과정에서 유기 TFT 성능을 형성하는 보호 필름 기술.

이번에 개발 된 기술의 기능

1. 펜타 센 솔루션을 사용한 고 결정질 반도체 필름을위한 코팅 및 제조 기술

•   우리는 반도체 필름 재료로서 펜타 센 용액을 토토사이트 공지여 고 결정질 펜타 센 반도체 필름을 형성하는 기술을 개발하고 기판의 양, 온도, 증기 압력 및 표면 에너지를 최적화했습니다.

2. 게이트 누출 전류를 억제하기 위해 코팅 방법을 사용한 게이트 절연 필름

• 코팅 방법을 토토사이트 공지여 촉매와 혼합 된 저온 폴리 실라 만 용액을 토토사이트 공지여 게이트 절연 필름을 형성하기 위해 기술이 적용되었다. 그런 다음 폴리 실라 인 필름을 적용한 다음 대기 중에 적용한 다음 (고온에서 베이킹하여 특성이 변경되는 과정), 비정형 적 실리콘 TFT에 사용되는 진공 과정에서 형성된 실리콘 질화물과 동일한 수준으로 누출 전류를 억제 할 수 있습니다. 또한, 펜타 센 반도체와 절연 필름 사이의 계면이 양호한 상태로 형성 될 수 있기 때문에 높은 이동성을 달성 할 수 있다는 이점이있다.

3. 프로세스 저항이 높은 3 층 보호 필름

• Polysilazane/수지/수지의 3 층 구조를 갖는 코팅 형성 필름이 보호 필름에 적용되었습니다. 이를 통해 반도체 가공 및 액정 적 스태킹 동안 발생하는 유기 TFT의 성능 저하가 가능해졌습니다.

  개발 된 유기 TFT 어레이를 토토사이트 공지여 화면 크기가 5 인치 인 디스플레이와 240 x 320 (QVGA와 동일)의 RGB 디스플레이 방법과 호환되는 유기 TFT 어레이 (트랜지스터 수 : 약 230,000)를 만들었으며 트랜지스터의 평균 이동성은 0.1cm²오버/v ・ S, 코팅 방법을 토토사이트 공지여 제조 된 유기 TFT 어레이에 대해 가장 높은 성능이 달성되었습니다. 또한,이 이동성은 작은 액정 디스플레이에서 사용할 수있는 성능이며, 우리는 우리가 개발 한 유기 TFT 어레이 형성 기술의 유용성을 확인할 수있었습니다.

미래 계획

  앞으로, 우리는 반도체 필름 및 게이트 절연 필름의 형성 온도를 낮추어 고품질 울트라 얇은 디스플레이를 개발하여 플라스틱 기판상의 유기 TFT 어레이를 형성하는 것을 목표로한다.

연락처 정보

토토 사이트. Central Research Institute 계획 사무소 [담당 : Kinoshita, Hanawa]
280 Higashi-Keigakubo 1-Chome, Kokubunji City, 도쿄 185-8601
전화 : 042-327-7777 (다이얼 인)

Asahi Kasei Co., Ltd. 홍보 사무소 [담당 : Yamazaki]
​​1-1-2 Yurakucho, Chiyoda-Ku, 도쿄 100-8440
전화 : 03-3507-2060 (다이얼 인)

독립 행정 기관, 국립 선진 산업 과학 기술 연구소
광학 기술 연구 부서 유기 반도체 장치 그룹 [담당 : Kamata]
Chuo No. 5, Higashi 1-1-1 Tsukuba City, Ibaraki 현, 305-8565
전화 : 029-861-4516 (다이얼 인)

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