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토토 사이트 털림최근 몇 년 동안 고정밀 포지셔닝이 필요한 반도체 제조 장비와 같은 장치에서는 고속으로 움직일 수있는 선형 모터가 프로세스의 작업 시간을 줄이는 데 사용되었습니다. 그러나, 일반적인 선형 모터에는 회전 모터가 평평한 표면에서 열리고 펼쳐지는 구조가 있으므로 전자석과 회전 모터와 같은 영구 자석 사이에서 생성 된 자기 인력을 취소 할 수 없습니다. 따라서, 이러한 간격을 유지하는지지 메커니즘에 큰 힘이 적용되며, 선형 볼 베어링이지지 메커니즘으로 사용될 때, 볼 변형으로 인한 위치 편차는 불가피하므로, 나노 미터 클래스의 초저 위치 (미터 클래스의 10 억 분의 1)가 필요할 때, 대기 및 오일의 압력을 이용하는 비싼지지 메커니즘이 필요했습니다.

토토 사이트 털림2001 년 토토 사이트 는 전자석과 영구 자석 사이의 자기 인력을 취소하는 고유 한 구조로 "터널 액추에이터"(그림 1 참조)라는 선형 모터를 고안했습니다. 고유 한 폴 톱니를 결합함으로써 전자기의 극 사이에 터널과 같은 공간이 생성되며 영구 자석은이를 통해 선형으로 구동됩니다. 상부 극과 하부 톱니 사이에 자기장이 형성되므로,이 내부에 설치된 영구 자석은 상부 및 하부 극 치아에서 자기 인력을 받아야하며, 이는 서로를 취소합니다. 또한, 자기 플럭스는 상부 및 하부 자기 극 톱니 사이의 흐르고, 누출 자기 플럭스가 적어 큰 구동력을 초래합니다. 토토 사이트 는 40g의 가속도 (중력 가속도의 40 배)의 "터널 액추에이터"를 실현했습니다.

토토 사이트이번에는 토토 사이트와 Shizuoka University of Science and Technology University of Science and Technology는 상부 및 하부 폴 톱니 사이에 설치된 영구 자석의 자기 인력이 취소되고, 공습 또는 오일 압력을 사용하는 비싼 지원 메커니즘을 사용하지 않고 선형 볼 베어링과의 간단한 조합으로 나노 미터 클래스 초박형 위치 장치를 구성하는 "터널 액추에이터"의 특성에 중점을 두었습니다.
토토 사이트 털림기존의 "터널 액추에이터"의 영구 자석은 얇은 플레이트와 유사하고 편향하기 쉽기 때문에, 편향을 방지하기 위해 회전 롤러를 삽입 하였다. 초 고정 나노 미터 클래스 포지셔닝 드라이브에 터널 액츄에이터를 사용하면 회전 롤러로 인한 마찰은 위치 편차의 요소가되므로 회전 롤러를 사용하지 않는 구조를 만드는 것이 었습니다.

토토 사이트 털림따라서 토토 사이트 는 터널 액츄에이터의 우수한 특성을 손상시키지 않으면 서 영구 자석 중앙의 수직 꼬리처럼 보강창을 부착하여 영구 자석 부분의 강성을 강화했습니다. 결과적으로, 자기 플럭스 터널에서 영구 자석의 편향이 제거되고 회전 롤러가 성공적으로 제거되었습니다.

토토 사이트 털림영구 자석의 강성과 선형 볼 베어링을 향상시키는 "터널 액츄에이터"의 조합을 사용하여 초고 정밀 위치 위치 장치의 프로토 타입으로서 5 나노 미터, 최대 이동 속도 및 초당 400mm의 성능을 확인할 수있었습니다.

토토 사이트 털림이번에 개발 된 "터널 액추에이터"를 사용하는 초고차 포지셔닝 장치에는 부품이 적고 간단한 구조가있어 적용된 제품에 쉽게 설치할 수 있습니다. 미래에는 차세대 반도체 제조 장비, 광학 관련 검사 장비, 바이오 관련 장비 등을위한 초고전 포지셔닝 장치로 사용될 것으로 예상됩니다.

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