실리콘-트랜지스터 토토사이트 벤츠 센서의 수명과 민감도를 높이기위한 기술 개발

수명을 달성하기위한 센서 섹션으로 백금 및 티타늄의 얇은 층 구조를 분석

 토토 사이트. (Hitachi라고 불리는 Furukawa Kazuo/Hightinafter)는 최근 Si-Mosfet (금속-산화물)의 특성을 사용하는 토토사이트 벤츠 센서 (GATE)에서 플래티넘 (PT) 및 티타늄 (TI)의 얇은 층 구조를 사용하여 새로운 소규모 토토사이트 벤츠 센서를 개발했습니다. 실리콘 (si)). 개발 된 토토사이트 벤츠 센서는 약 1 초 안에 1000ppm 이상의 농도로 토토사이트 벤츠를 감지 할 수 있으며, 열과 습도에도 내성이 있습니다. 또한, 프로토 타입 토토사이트 벤츠 센서를 사용한 생명 가속 테스트 결과는 3 년 이상 사용될 수 있음을 보여 주었다. 이 토토사이트 벤츠 센서는 반도체를 기반으로하기 때문에 현재 인기있는 반도체 제조 장비를 사용하여 제조 할 수 있으므로 대량 생산이 우수합니다.
우리는이 기술이 토토사이트 벤츠를 안전하게 사용하기위한 핵심 장치가되기를 희망하며, 이는 전기를 생산할 때 이산화탄소를 방출하지 않고 지구 친화적 인 에너지로 유명한 에너지 원으로 주목을 받고 있습니다. 이 기술은 NEDO (New Energy and Industrial Andustrice Development Organization)의 커미션에 따른 연구 개발의 결과입니다.

  석탄 및 석유와 같은 화석 연료의 대량 소비와 관련된 지구 온난화 및 대기 오염은 전 세계적으로 환경 문제가되었으며 토토사이트 벤츠는 화석 연료로 변형 될 수있는 청정 에너지 원으로 주목을 받고 있습니다. 일본에서는 미래에 중요한 에너지 원이 될 것으로 예상되며, 세계 에너지 네트워크 (World Energy Network)의 예측은 2020 년에 토토사이트 벤츠를 공급하는 5 백만 개의 연료 전지 차량과 3,000 개의 토토사이트 벤츠 스테이션이 예상됩니다. 토토사이트 벤츠 에너지의 확산으로 토토사이트 벤츠 스테이션은 도시 지역에 부착되거나 가스 스테이션에 부착 될 것으로 예상됩니다.
  Nedo가 의뢰 한 토토사이트 는 "센서 네트"를 사용하여 수소 가스 감지 시스템을 개발하여 여러 센서를 무선으로 연결하고 객체에 대한 측정 정보를 원격으로 확인할 수 있습니다. 이의 일환으로, 우리는 수소와 반응하는 특성을 갖는 팔라듐 (PD)을 사용하여 프로토 타입 Si-Mosfet-type 수소 가스 센서를 만들었습니다. 그러나,이 수소 센서는 고농도의 10%에서 수소를 감지하는 데 약 60 초가 걸리고, 고농도의 수소에 노출되면 팔라듐이 벗겨져 실질적인 사용을 초래합니다.
  따라서 토토사이트 는 Palladium의 대안으로 백금에 중점을두고 Si-Mosfet의 게이트로서 백금 및 티타늄의 얇은 층 구조를 사용하여 Si-Mosfet- 타입 토토사이트 벤츠 센서를 개발했습니다.

  과거에는 토토사이트 벤츠를 감지하는 센서 부품에 대한 백금을 사용하여 토토사이트 벤츠 센서에 대한 연구가 수행되었지만 백금은 팔라듐보다 덜 민감하며 백금은 절연 필름에서 껍질을 벗기기 쉽습니다. 백금과 절연 필름 사이의 접착력을 증가시키기 위해, 배리어 금속이라는 접착제 재료가 백금과 절연 필름 사이에 적용되는 방법이 개발되었지만, 백금 및 장벽 금속이 반응하고 토토사이트 벤츠 센서로서 기능하지 않는 문제가 발생한다.
   따라서 토토사이트 는 장벽 금속으로 티타늄을 채택했으며 백금 필름 구조 및 제조 공정을 추가로 분석하고 개선했습니다.
  발달 된 토토사이트 벤츠 센서의 크기는 2.0mm x 2.0mm이며 트랜지스터가 작동하는 임계 전압의 변동이 매우 적으므로 토토사이트 벤츠 농도에 정확하게 반응 할 수 있으며, 반응을 촉진하기 위해 열을 촉진 할 수 있습니다. 이를 통해 전력 소비 (100MW)를 줄이고 폭발 방지 구조를 단순화하여 전체 센서 크기를 줄일 수 있습니다. 또한 약 1 초 안에 1000ppm 이상의 농도로 토토사이트 벤츠를 감지 할 수 있으며 열과 습도에 내성이 있다는 이점이 있습니다.

  새로운 기술의 개발로 토토사이트 벤츠 센서는 이제 더 작고 낮은 전력 소비가 가능해졌지만, 트랜지스터의 소형화와 같은 개선 된 원소 기술을 통해 추가 소형화 및 전력 소비가 달성 될 수 있다고 생각합니다. 이는 배터리 구동 토토사이트 벤츠 센서, 여러 센서를 무선으로 연결하는 센서 네트의 구조 및 토토사이트 벤츠 비히클 및 기타 비히클에 설치할 수있는 소형 저전력 토토사이트 벤츠 센서의 실제 적용과 같은 다른 유형의 토토사이트 벤츠 센서에서 이전에 달성하기 어려운 토토사이트 벤츠 센서의 생성으로 이어질 것으로 예상됩니다.
  이 결과는 2007 년 6 월 23 일부터 도쿄 치 요다 워드에서 개최 될 2007 NEDO Results Report Symposium에서 발표 될 예정입니다.

연락처 정보

토토 사이트. Central Research Institute 계획 사무소 [담당 : Kinoshita]
280 Higashi-Keigakubo 1-Chome, Kokubunji City, 도쿄 185-8601
전화 : 042-327-7777 (Direct)

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