폴리머의 자기 조립 현상을 활용하는 기본 나노 레드벨벳 토토 기술 개발

리소그래피에 의해 9 배 더 높은 미세 도트 레드벨벳 토토을 성공적으로 밀축시켰다

  교토 대학 (Kyoto University), 국립 대학교 (Cyoto University) (국립 대학교 (Cyoto University)라고 불리는 마츠모토 히로시/이하 (Matsumoto Hiroshi/Heally)와 토토 사이트. (대통령 : 히타 치라고 불리는 푸루카와 카즈 오/이하) 훌륭한 레드벨벳 토토.
 나노 패터닝 기술은 반도체와 같은 기질 표면에 미세 레드벨벳 토토을 형성하는 리소그래피 기술입니다.*1, 기존 모델보다 더 미세한 레드벨벳 토토을 형성 할 수있는 잠재력이있어 전자 장치에서 높은 기능성을 가능하게하는 기술입니다.
  이번에 Kyoto University와 토토사이트 는이 자체 조직 현상을 활용하는 나노 패턴 링 기술과 기판 표면을 최적으로 처리하여 분자가 함께 모일 수 있도록하는 "화학 표면 변형 기술"과 "고 밀도로 분자를 수집하는"고도화 패턴 간섭 기술 "을보다 쉽게 ​​처리합니다. 이러한 기술은 기존의 나노 패턴 화 기술과 비교하여 점의 부족을 억제하는 데 사용되었으며, 리소그래피에 의해 형성된 미세 도트 패턴을 9 배 더 높게 밀도 할 수있었습니다. 이 기술은 반도체, 기록 장치 및 센서와 같은 전자 장치의 기능을 더욱 향상시킵니다.

  전통적인 리소그래피 기술에서, 포토 리소그래피 방법은 주로 반도체 필드에 사용되며, 여기서 자외선과 같은 전자기파는 미세 레드벨벳 토토을 형성하는 데 사용됩니다.*2와 같은 기술 널리 사용됩니다. 그러나 레드벨벳 토토의 크기가 전자기 파의 파장에 접근함에 따라 기술과 비용 측면에서 한계가 분명 해지고 있습니다. 반면에, 자기 조직 현상을 활용하는 나노 레드벨벳 토토 닝 기술은 기존의 포토 리소그래피 방법보다 더 미세한 레드벨벳 토토의 형성을 허용하기 때문에 차세대 리소그래피 기술로 주목을 끌고 있습니다.
 Kyoto University와 토토사이트 는이 배경에 대한 응답으로 자기 조직화 현상을 활용하는 나노 레드벨벳 토토 링 기술 중 하나 인 화학 등록 방법을 연구하고 있습니다.*3에 중점을 둡니다. 화학적 등록 방법은 기질 표면의 특정 분자를 포함한다.*4이것은 전자 빔을 사용하여 화학적 자국을 형성하여 함께 모이는 사람들 만 더 쉽게 모으고이 마크에 분자를 수집하여 미세한 원통형 점 레드벨벳 토토을 형성하는 기술입니다.
 이번에는 Kyoto University와 Hitachi가 공동 으로이 화학 등록 방법에 의해 형성된 도트 패턴을 더욱 세련되게 만들기 위해 기판 표면을 최적화하는 "화학 표면 변형 기술"을 공동으로 개발하여 분자가 쉽게 모일 수 있도록 기판의 표면을 최적화함으로써 도트 패턴의 부족을 감소시킨다. 우리는 또한 기판의 화학 마크 사이에 분자를 함유 한 도트를 더 밀도가 높은 패턴을 형성 할 수있는 "고기화 패턴 보간 기술"을 개발했습니다.

 결과적으로, 전자 빔 직접 도면 방법 (EB 방법)은 기판 표면의 100µm 정사각형 영역에 적용된다.*5를 사용하여 72 nm의주기를 가진 화학적 마크가 형성되었고, 마크 사이에 두 개의 점을 삽입함으로써, 우리는 24 nm 간격으로 약 14 nm의 직경을 가진 미세한 원통형 점을 성공적으로 형성 할 수있었습니다. 이것은 기존의 리소그래피 기술인 EB 방법을 사용하여 형성된 화학적 자국의 레드벨벳 토토보다 9 배 더 밀도가 높습니다. 또한 EB 방법에 의해 형성된 화학적 자국의 위치와 모양을 교정 할 수 있음이 입증되었습니다.

개발 기술의 세부 사항

(1) 화학 표면 수정 기술

화학적 등록 방법에서 도트 패턴을 형성 할 때, 특정 분자를 조립하기 위해 기판 표면의 EB 방법을 사용하여 화학 마크를 형성해야한다. 이번에는 기판 표면에 최적의 처리를 적용하고 분자 응집을 최적화하여 이전보다 빠른 패턴이 적은 패턴을 더 잘 얻을 수있는 "화학 표면 변형 기술"을 개발했습니다.

(2) 고성능 레드벨벳 토토 보간 기술

종래의 화학적 등록 방법에서, 기판 상에 형성된 화학적 마크에 특정 분자를 집계함으로써 미세 패턴이 형성되었지만, 최근에는 마크 사이에 특정 분자에 하나의 도트를 삽입함으로써 패턴의 밀도가 네 번 증가 할 수 있음을 입증했다. 도트 패턴의 밀도를 더욱 증가시키기 위해, 우리는 마크 사이에 두 개의 도트를 삽입하여 패턴의 밀도를 증가시키는 "높은 배율 패턴 보간 기술"을 개발했습니다.

*1

리소그래피 기술 : 반도체 및 액정 패널의 기질을 만드는 데 사용되는 회로 레드벨벳 토토 등을 형성하는 장치. 그리고 과정.

*2

Photolithography 방법 : 자외선 및 기타 형태와 같은 전자기파를 사용하여 미세 레드벨벳 토토이 기판 표면에 구워지는 하향식 접근법이라고하는 방법. 반면에, 자체 조직화 과정을 상향식이라고합니다.

*3

화학 등록 방법 : 미국 위스콘신 대학교 Nealey 교수가 개발 한 방법으로, 화학 자국이 기판 표면에 배치되어 특정 분자 만 모을 수있게되며 미세 레드벨벳 토토은 순서 대로이 마크에 형성됩니다.

*4

특정 분자 : 중합체 블록 공중 합체. 중합체 블록 공중 합체에서, 분자를 구성하는 분자 사슬은 자발적으로 모여 마이크로 도메인이라는 미세 구조를 형성한다.

*5

직접 전자 빔 드로잉 방법 : 마스크 레드벨벳 토토을 사용하지 않고 전자 빔을 사용하여 저항이 직접 그려진 리소그래피 방법.

연락처 정보

Hasegawa Hirokazu, Kyoto University, Kyoto University 공학 대학원 부교수
Kyoto University Katsura, Nishikyo-Ku, Kyoto City, 615-8510
전화 : 075-383-2620

토토 사이트. Hitachi 실험실 계획 사무소 [담당 : Suzuki]
7-1-1 오마 카코, 이바라키 주 히타치시 319-1292
전화 : 0294-52-7508 (Direct)

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