엄지 크기의 40 피코 미터의 측정 감도가있는 작은 토토사이트 forever 센서를 개발했습니다

광학 간섭계에 광 결정 도입, 소형화 및 고감도 달성

3025_3139*1를 사용하여 작은 토토사이트 forever를 측정하는 작은 토토사이트 forever 센서를 개발했습니다. 개발 된 압축 토토사이트 forever 센서는 광 간섭 현상을 사용하는 광학 간섭계를 사용하여 광학 성분에 사용되는 최초의 광학 결정입니다.*2를 도입함으로써, 엄지 크기가 줄어들고 40 피코 미터의 측정 감도가 감소되었으며, 이는 종래의 광학 간섭계에서 달성하기 어려웠다.
  이 센서는 크기가 작기 때문에 공간이 제한되어 있었던 반도체 장치와 같은 나노 구조 요소를 처리하는 초고차 가공 기계에 설치할 수 있으며, 매우 민감한 토토사이트 forever 센서를 통합하기가 어려웠으며, 도구, 표본 및 원자 수준의 정확도와 함께 가공에 큰 기여를하기가 어려웠습니다.
  또한, 기존 원자력 현미경 (AFM) 및 스캐닝 터널링 현미경 (스캐닝 터널링 현미경)을 포함하여 발달 된 작은 토토사이트 forever 센서를 스캐닝 프로브 현미경 (SPM)에 통합하여 원자 수준에서 미세한 요소와 재료의 불일치를 관찰하는이를 통해 프로브 (Probesting) (Probes)의 위치를 ​​통합 할 수 있습니다. (1 나노 미터는 10 억의 10 억 분입니다) 증가합니다. 이것은 또한 차세대 나노 구조 측정 수단의 실현에 기여하며, 이는 높은 정확도로 각 원자의 불균형을 관찰합니다.

 반도체 장치의 자기 헤드 요소 및 하드 디스크 장치와 같은 나노 미터 규모의 미세 구조로 구성된 나노 구조화 된 요소는 다양한 정보 장비 및 터미널의 기본 구성 요소로서 성능에 영향을 미칩니다. 이 나노 구조 장치의 개발 및 제조는 반도체 제조 장비 및 초고전 가공 기계를 사용하여 나노 수준에서 처리 할 수 ​​있습니다. 또한, 원자 수준에서 불균형을 측정하는 AFM 및 STM과 같은 SPM은 미세하게 처리 된 요소 및 재료의 관찰 및 검사에 사용됩니다. 미래에는 산업 기술이 발전함에 따라 정보 장비 및 터미널의 용량 및 기능에 대한 수요가 있으며이를 달성하려면 나노 구조화 된 장치의 추가 소형화가 필요합니다. 이러한 이유로, 초 저렴한 가공 기계 및 측정 장치에 통합 될 수있는 새롭고 컴팩트 한 매우 민감한 토토사이트 forever 센서에 대한 수요가있었습니다.
   광학 간섭계는 이러한 요구 사항을 충족시키는 토토사이트 forever 센서로 간주 될 수 있지만 광학 간섭계는 크기가 크며 공기 변동 및 기계적 진동에 취약하므로 설치에 충분한 공간이 필요하며 온도와 습도가 엄격하게 제어되는 특수 환경에서는 제한적으로 사용됩니다.

  이번에 토토사이트 는 광학 구성 요소에 처음으로 광 결정을 처음으로 도입하여 이러한 광학 간섭계를 적용했으며, 미니어처 및 높은 감도를 결합한 새로운 소형 토토사이트 forever 센서를 개발했습니다. 이 작은 토토사이트 forever 센서의 엄지 크기는 50mm (길이) x 20mm (너비) x 14mm (높이)입니다. 그러나 40 피코 미터의 매우 민감한 토토사이트 forever 측정을 달성합니다. 반도체 제조 장비, 초 충전 가공 기계 및 SPM 에이 작은 토토사이트 forever 센서를 설치함으로써 도구, 시편 및 가공의 소형화, 차세대 나노 구조 측정 수단의 실현에 크게 기여할 것입니다.

  이 기술은 Optics & Photonics Japan 2008 (Japan Optical Society 연례 학업 강의)에서 발표 될 예정입니다. 2008 년 11 월 4 일부터 6 일까지 이바라키 주 츠쿠바시에있는 츠쿠바 국제 컨퍼런스 센터에서 개최됩니다.

개발 기술의 세부 사항

(1). 고감도 기술

  광학 간섭계에서, 레이저 광은 두 개의 광학 경로로 분리되고, 하나는 기준 미러 (참조 광)라는 반사기에 조사되고, 다른 하나는 측정 대상에 조사되어 (측정 광) (측정 광) 둘 다에서 반추 된 빛이 간섭의 강도로부터 측정의 토토사이트 forever를 유발합니다. 이번에는이 참조 거울에 적층 광자 크리스탈 편광판이 처음입니다.*3를 사용하여, 우리는 다른 편광 상태에 의해 동일한 광 경로에서 기준 조명과 측정 된 빛을 분리하는 새로운 편광 분리 공통 광학 경로 광학 간섭 기술을 개발했습니다. 이것은 공기 변동 및 기계적 진동의 영향을 줄이고, 기준 미러와 측정 객체 사이에서 발생한 반복 반사 및 광 강하를 억제합니다. 또한, 우리는 광 결정 편광기가 전송 된 직후 측정 된 빛의 편광 상태를 제어하고, 광학 결정 편광기와 측정 대상 사이의 측정 된 빛을 정확하게 왕복시킴으로써 토토사이트 forever의 양이 두 배가되었다. 결과적으로, 우리는 40 피코 미터의 높은 감도 측정을 달성했습니다.

(2). 소형화 기술

간섭 표시등의 강도로부터 측정 대상의 토토사이트 forever량을 결정할 때, π/2의 위상차가 기준 광과 측정 된 빛 사이에 적용되며, 위상 시프트 방법은 이에 의해 얻은 4 개의 간섭 신호로부터 토토사이트 forever량을 결정하는데 사용된다.*4를 사용하고있었습니다. 이번에는 상이한 결정 축을 갖는 4 개의 라미네이트 광 결정 편광기를 사용하여 단일 기판의 어레이에 형성하여 4 개의 위상 시프트 간섭 신호를 병렬로 생성하는 작은 위상 시프터를 개발했다. 위에서 언급 한 고감도 기술과 개발 된 작은 위상 시프터를 결합하여 엄지 크기가 50mm (길이) x 20mm (너비) x 14mm (높이)의 작은 토토사이트 forever 센서를 달성했습니다.

*1

측정 민감도 : 물체의 토토사이트 forever가 얼마나 작은지를 보여주는 측정 값이 있습니다. AD (아날로그-디지털) 변환기의 해상도 및 전기 시스템의 디스플레이 섹션 해상도는 다릅니다.

*2

Photonic Crystal : 다른 굴절률을 갖는 재료가 빛의 파장에 대해 약 2 ~ 3 차원으로 배열되는 광학 물질.

*3

라미네이트 광 결정 편광기 : 광학 결정의 유형. 1 배의 파장의 빛을 갖는 고르지 않은 격자가 투명한 기판에 형성되고, 상이한 굴절률을 갖는 두 가지 유형의 박막이 적층된다. 격자 구조를 조정함으로써, 입사 편광에 따라 다른 반사 및 전송 특성을 갖는 편광판 역할을한다.

*4

위상 시프트 방법 : 참조 표시등과 측정 된 빛 사이의 위상차가있는 4 개의 간섭 신호 I_Q(Q = 0 ~ 3)

| 얻어지고 토토사이트 forever량 d는 다음 방정식으로부터 얻어진다. 여기, 나는_r, i_M기준광, 측정 된 빛의 강도, λ는 빛의 파장이고 N은 공기의 굴절률, n = 1.

이번에 개발 된 작은 토토사이트 forever 센서

연락처 정보

토토 사이트., 생산 기술 연구소 계획 사무소 [책임 : 칸다 스즈키]
292 Yoshidacho, Totsuka-Ku, Yokohama, Kanagawa 244-0817
전화 : 045-860-1678 (Direct)

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