플라스틱 필름의 실온에서 형성 될 수 있습니다
투명한 산화물 반도체 필름 사용
박막 트랜지스터와 함께 1.5V의 작동 토토사이트 라이브 달성

배터리 및 무선 전원 공급 장치와 함께 사용할 수있는 유연한 전자 장치 실현 경로 수행

토토 사이트. (집행 사장 : Furukawa Kazuo/Healinafter, Hitachi)는 최근 산화물 반도체를 발표했습니다*1인듐 갈륨 아연 복합 산화물을 사용한 박막 트랜지스터 (이하 igzo라고 함)*2(TFT) ~ 6nm (나노 미터)의 채널 층의 두께를 얇게함으로써, 전통적인 것의 10 분의 1 인 스위치의 작동 성능은 개선되어 작동 토토사이트 라이브을 크게 줄이고, 이전에는 여러 볼트 (V)의 3에서 3에서 3에서 연속적으로 작동 할 수 있습니다.
토토사이트 라이브실온에서 형성 될 수있는 산화 반도체 TFT는 얇고 구부러진 플라스틱 기판에 새로운 전자 장치를 장착하여 새로운 전자 장치를 가능하게하는 기술 일 것으로 예상됩니다. 이 개발 기술은 산화물 반도체 TFT가 실리콘 반도체와 유사한 저전압에서 작동 할 수 있으며, 배터리 또는 무선을 통해 전원 공급 장치와 함께 작동하는 유연한 RF-ID 및 PDA를 포함한 광범위한 새로운 전자 장치에 적용될 것으로 예상됩니다.
토토사이트 라이브이 연구는 Japan Science and Technology Agency (의장 : Kitazawa Koichi) (SORST)의 SORST (Strategic Creative Research Promotion Project Development Research)에 참여한 결과입니다.

 최근에는 가볍고 얇고 유연한 전자 장치를 실현하기 위해 플라스틱 필름을 사용하여 보드의 프로세서, 통신 장치 및 메모리와 같은 전자 회로를 직접 형성하기 위해 기술이 개발되었습니다.
  지금까지, 디스플레이 목적으로 실질적으로 사용 된 비정질 실리콘 및 다결정 실리콘을 사용하는 TFT는 300 ° C 이상의 고온 공정을 사용하여 제조되므로 고온에 민감한 플라스틱 필름에 직접 전자 회로를 형성 할 수 없습니다. 대조적으로, 산화물 반도체를 사용한 TFT는 실온에서 형성 될 수 있으며, 따라서 플라스틱 필름으로 제조 된 기판 상에 형성 될 수있다. 그러나, 현재까지보고 된 산화 산화물 TFT의 작동 토토사이트 라이브은 실리콘 반도체보다 3V에서 수십 수의 V에서 범위가 높으며, 에너지를 절약하기 위해 더 낮은 토토사이트 라이브으로 운전하거나 무선으로 운전 해야하는 휴대용 전자 장치에 적용하기가 어려웠습니다.

 이러한 배경으로 인해 토토사이트 는 최근 산화물 TFT의 작동 토토사이트 라이브을 1.5V로 줄이는 기술을 개발했습니다. 실리콘 반도체와 마찬가지로 TFT는 소스, 배수 및 게이트의 3 개의 터미널로 구성되며 소스와 배수 사이의 채널 층이라는 영역을 통해 전류를 흐르고 게이트에 적용된 토토사이트 라이브을 사용하여 전류를 제어하여 ON/OFF 작업을 수행하는 데 사용됩니다. 산화 반도체 TFT는이 채널 층에 산화물 반도체를 사용합니다. 이번에 토토사이트 는 1.5V의 전원 공급 토토사이트 라이브에서 작동을 성공적으로 확인했으며, 이는 전형적인 산화물 반도체 인 IGZO를 사용하여 이전의 두께를 6nm로 줄임으로써 이전의 전원보다 현저히 낮습니다. 이는 채널 레이어에 IGZO를 사용하여 얇게 만들면 트랜지스터가 꺼질 때 유동 전류가 줄어들었고 기존의 두꺼운 필름보다 작은 게이트 토토사이트 라이브에서 켜지거나 끄는 것이 가능하기 때문입니다.

  이번에 만든 산화물 반도체 TFT에는 스위치의 작동 성능의 대표적인 지표 인 "하위 스레드"가 있습니다.*3"는 63MV/Dec (Millivolts/Decade : 25 ° C에서 전류 금액을 늘리는 데 필요한 전압)로 감소되었습니다.이 값은 이론적 한계 (59.2mv/dec)에 가깝고 산화물 TF의 전력 공급량에 대한 세계에서 가장 작은 값입니다. 10⁸위. 이는 현재 TFT에 실질적으로 사용되는 비정질 실리콘 또는 다결정 실리콘이 1.5V로 작동 할 때 스위치의 작동 성능을 초과합니다.

토토사이트 라이브토토사이트 라이브 

<추가 정보> 이번에 개발 된 장치 기술의 세부 사항
토토사이트 라이브TFT는 소스, 배수 및 게이트의 세 개의 터미널로 구성됩니다. 0V의 소스 전압에서 배수 및 게이트에 양의 전압이 적용되면 전류는 채널 층을 통해 흐르고 켜집니다. 또한 게이트에 적용된 전압이 0V 이하로 감소되면 채널 층은 전기적으로 단열되는 고갈 층으로 고갈된다*4나타나고 꺼집니다.
토토사이트 라이브 따라서, TFT의 전원 공급 전압을 줄이려면 (1) TFT가 가능한 한 작을 때 흐르는 누출 전류를 줄이고 (2) 더 작은 게이트 전압으로 켜고 끄는 것이 필요하다. 이는 모든 채널 레이어가 꺼져있을 때 고갈 된 레이어가되는 완전히 고갈 된 상태를 만드는 데 효과적입니다.
토토사이트 라이브이번에는 토토사이트 는 완전한 고갈을 성공적으로 달성하고 채널 층에 IGZO를 사용하고 채널 층 두께를 6Nm으로 설계하여 저전압을 달성했습니다.

*1

산화 산화 반도체 : 이것은 반도체 특성을 나타내는 금속 산화물이며, 트랜지스터 응용 분야의 경우, 산화 아연 산화 산화물과 GA, ZN 및 SN의 복합 산화물 재료가 알려져 있습니다. 실온에서 스퍼터링하여 증착 될 수 있으며 가시 광선에 투명하게 특징 지어집니다. 유연한 장치 및 투명 장치와 같은 새로운 필드에 적용될 것으로 예상됩니다.

*2

박막 트랜지스터 (TFT) : 유리와 같은 절연체 기판에서 만든 트랜지스터는 현재 활성 매트릭스 액정 디스플레이에서 픽셀을 구동하는 데 주로 사용됩니다.

*3

하위 임계 값 계수 : 이것은 트랜지스터의 스위칭 작동 성능의 한 지표이며, 배수 토토사이트 라이브이 일정하는 동안 크기 순서를 변경하는 데 필요한 하위 임계 값 영역의 게이트 토토사이트 라이브 변화의 양을 나타냅니다. 25 ° C의 이론적 한계는 59.2 mV/12 월입니다.

*4

고갈 층 : 반도체에 담체 (유리 전자 및 구멍)가 존재하지 않고 전기적으로 절연하는 영역. 자유 전자가 담체 인 산화물 TFT에서, 게이트 전극에 가해지는 음의 토토사이트 라이브이 증가 할 때 고갈 층의 폭이 증가한다.

연락처 정보

토토 사이트. Central Research Institute 계획 사무소 [담당 : Kinoshita]
280 Higashi-Keigakubo 1-Chome, Kokubunji City, 도쿄 185-8601
전화 : 042-327-7777 (Direct)

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