마스터 토토사이트 핀은 실리콘보다 10 배 이상 빠른 전자 이동성을 가질 것으로 예상
사파이어 기판에 제작을위한 기술 개발

향후 고속 전자 장치의 대량 생산 공정을 실현하는 데 기여

 토토 사이트. (Hitachi라고 불리는 Kawamura Takashi/Hightinafter)는 최근 많은 전자 장치에서 사용되는 실리콘보다 10 배 이상 빠르다고 발표했습니다.*1예상 마스터 토토사이트 핀, 사파이어 기판*23140_3367*3단열재 사파이어 기판의 층 수를 제어하는 ​​마스터 토토사이트 핀 및 기술 및 광학 투과율을 제어하는 ​​기술에 적용됩니다*4를 사용하여 레이어 수를 쉽게 측정하는 기술을 개발했습니다. 이를 통해 사파이어 기판에 다량의 마스터 토토사이트 핀을 제조 할 수 있으며, 마스터 토토사이트 핀의 전자 이동성을 사용하는 고속 전자 장치의 질량 생산 공정의 실현에 기여할 수 있습니다.
 이 기술은 Tohoku University의 국립 대학교 기업 인 교수 타카시 교수 (Tohoku University)라고 불리는 이루에 공동으로 개발되었습니다.

  마스터 토토사이트 핀은 흑연이라고 불리는 다중 계층 층이며, 실린더로 포장 된 탄소 나노 튜브를 탄소 나노 튜브라고합니다. 실온에서의 전자 이동성은 실리콘보다 10 배 더 빠르기 때문에 고속 전자 장치에 적용될 것으로 예상됩니다. 그러나 2004 년 영국 맨체스터 대학교의 A. K. Geim 교수는 단결정 흑연을 벗겨서 접착제 테이프를 사용하여 단일 마스터 토토사이트 핀 시트를 성공적으로 제거했으며 실리콘 또는 실리콘 카바이드 기판에 실험 방법을 사용하여 제조 할 수 있었지만, 아직 실험적인 방법을 사용하여 대중 생산 기술의 확립을 달성하지 못했습니다.

 이번에는 토토사이트 는 대량 생산에 적합한 증기 증착 방법을 사용하는 기술과 레이어 수를 제어하는 ​​기술과 광 전송을 측정하여 층 수를 쉽게 측정 할 수있는 기술을 개발했습니다. 이 기술을 통해 많은 양의 마스터 토토사이트 핀이 사파이어 기판에 제조 될 수 있으며, 마스터 토토사이트 핀의 전자 이동성을 사용하는 고속 전자 장치에 대한 대량 생산 공정의 실현에 기여합니다.
 개발 된 기술의 세부 사항은 다음과 같습니다.

개발 기술의 세부 사항

(1) 대량 생산에 적합한 마스터 토토사이트 핀 생산 기술

토토사이트 는 Tohoku University와 협력하고 있으며 금형 방법을 사용하여 탄소 나노 튜브를 생산하는 기술을 개발했습니다.*5를 적용하는 것을 고려하고 있습니다 사파이어 기판 및 알루미늄 산화 알루미늄에 마스터 토토사이트 핀에 대한 촉매 활성*6를 가지고 있음을 발견하고, 증기 증착을 사용하여 산화 알루미늄의 단일 결정 인 사파이어 기판에서 비교적 저온 (600-700 ° C)에서 1 ~ 여러 층의 마스터 토토사이트 핀을 제조하는 기술을 개발했습니다. 이 기술은 제조하는 데 짧은 시간이 걸리기 때문에 대량 생산에 적합합니다. 이번에 성공적으로 제작 된 마스터 토토사이트 핀의 도메인 크기*7약 10nm입니다.

(2) 마스터 토토사이트 핀 층의 수를 쉽게 측정하는 기술

  전통적으로, 전송 전자 현미경과 같은 대규모 장비는 마스터 토토사이트 핀 층의 수를 측정하기 위해 필요했다. 투명한 사파이어 기판을 사용함으로써, 우리는 단일 마스터 토토사이트 핀 시트의 광 투과율이 97.7%를 갖는 사실을 활용하여 광 투과율 측정과 같은 간단한 방법을 사용하여 마스터 토토사이트 핀 층의 수를 측정하는 기술을 개발했습니다.

  앞으로 토토사이트 는 마스터 토토사이트 핀의 도메인 크기 확장과 같은 개발을 촉진 할 것이며이 기술을 마스터 토토사이트 핀을 사용하여 대량 생산 고속 전자 장치를 생산하는 과정에 적용하는 것을 목표로합니다.

  이 기술은 6 월 21 일부터 26 일까지 베이징에서 열릴 나노 튜브의 과학 ​​및 적용에 관한 제 10 차 국제 회의에서 발표되었습니다.

*1

전자 ​​이동성 : 재료에서 전자의 이동 용이성을 나타내고 재료 별 가치 인 특성.
실리콘은 1400 [CM2/VS]이지만 마스터 토토사이트 핀은 수만 [CM2/VS]로 측정되며 이론적으로 20 만 [CM2/VS]로 예측됩니다.

*2

사파이어 기판 : 산화 알루미늄으로 만든 단결정 기판.

*3

증기 상 성장 방법 : 원료 가스가 가열 된 반응 튜브에 공급되고 원하는 재료가 촉매를 사용하여 성장하는 방법.
이번에는 아세틸렌 가스가 원료 가스로 사용되었고 사파이어 기판 표면의 촉매 활성을 이용함으로써, 사파이어 기판의 표면에 마스터 토토사이트 핀 박막이 형성되었다.

*4

광 투과율 측정 : 빛과 물질을 조사하고 전달 된 빛의 강도를 측정하는 방법.

*5

주형 방법에 의해 탄소 나노 튜브로 만들어진다 : 전해질에서 금속 알루미늄을 전기적으로 산화시켜 미세 기공이 형성된다. 다음으로, 방법은이 구멍을 주형으로 사용하여 탄소 박막을 형성하고 마침내 금형을 제거하여 균일하게 형성된 탄소 나노 튜브를 생성하는 것입니다.

*6

촉매 활성 : 원료 가스로부터 마스터 토토사이트 핀을 형성하는 화학 반응 촉진 효과.

*6

도메인 크기 : 연속 멤브레인 크기.

연락처 정보

토토 사이트. Hitachi 실험실 계획 사무소 [담당 : Suzuki]
7-1-1 오미 카코, 이바라키 주 히타치시 319-1292
전화 : 0294-52-7508 (Direct)

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