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2009 년 토토사이트 콬 7 일
신호 대 잡음비가 낮은 SEM 토토사이트 콬에 대한 높은 신호 대 잡음비에 해당하는 높은 토토사이트 콬 품질을 달성
토토 사이트. (이사 회장 및 CEO : Kawamura Takashi/Heally heallyfter, 토토 사이트)는 최근에 전자 빔의 확산 (빔 직경)으로 인해 소음을 줄이고 선명도를 복원하는 토토사이트 콬 처리 기술을 개발하여 스캐닝 전자 마이크로 스코프 (SEM)에서 토토사이트 콬에 대한 날카로운 토토사이트 콬를 생성하기 위해 전자 빔 (빔 직경)을 악화 시켰습니다. 1/1 백만 분의 1 백만) 수준. 이는 신호 대 잡음비가 토토사이트 콬 처리가 수행되지 않을 때와 비교됨을 의미합니다.*1그리고 선명도는 약 1.4 배나 향상되었습니다. 이 기술을 사용함으로써, 이전에 높은 토토사이트 콬 품질을 달성하기 어려운 SN 비율이 낮은 SEM 토토사이트 콬조차도 명확해질 수 있습니다.
SEM은 나노 미터의 미세 구조로 샘플을 관찰하고 분석하기위한 장치로서 의학, 반도체 및 재료의 분야에서 널리 사용됩니다. 원자력 및 분자 수준에서 구조적 분석의 필요성이 증가함에 따라, 반도체 장치의 소형화 및 밀도의 발전이 SEM 성능 향상에 대한 연구 및 개발은 샘플 표면 박하 및 증가 된 해상도에서 전자 빔을 조사하는 소프트웨어 접근 방식을 목표로하는 하드웨어 접근법 모두에서 수행되고 있으며, 빔 토토사이트 콬 콬를 복원하는 토토사이트 콬 콬를 복원하는 소프트웨어 접근법을 목표로하고있다.
오늘날 토토 사이트가 개발 한 기술은 소프트웨어를 사용하여 토토사이트 콬 콬 콬 콬 콬 콬 처리를 사용하여 빔 직경으로 인해 악화 된 SEM 토토사이트 콬 콬 콬 콬 콬 콬의 선명도를 복원하여 날카로운 토토사이트 콬 콬 콬 콬 콬 콬를 얻습니다. 현재 토토사이트 콬 콬 콬 콬 콬 콬 처리를 사용한 토토사이트 콬 콬 콬 콬 콬 콬 복원 기술은 이미 의료 기기 및 광학 현미경과 같은 분야에서 이미 사용되고 있지만 SEM 토토사이트 콬 콬 콬 콬 콬 콬는 광학 현미경과 같은 토토사이트 콬 콬 콬 콬 콬 콬보다 노이즈가 더 높기 때문에 SN 비율이 낮으므로 일반적인 토토사이트 콬 콬 콬 콬 콬 콬 프로세싱 복원 기술은 토토사이트 콬 콬 콬 콬 콬 콬 품질이 더 심화됩니다.
따라서 토토사이트 는 토토사이트 콬 밝기 및 주파수 구성 요소의 변화 방향을 분석하여 높은 정확도로 노이즈를 줄이고 빔 직경으로 인해 악화 된 선명도를 회복시켜 SN 등급이 낮은 SEM 토토사이트 콬의 경우에도 적절한 노이즈 감소 및 선명도 개선을 달성하는 토토사이트 콬 처리 기술을 개발했습니다. 기술의 기능은 다음과 같습니다.
촬영 된 SEM 토토사이트 콬는 올바른 신호에 겹쳐진 노이즈이지만 과거에는 신호와 노이즈를 올바르게 식별 할 수 없었으므로 선명도가 개선되면 노이즈의 영향으로 인해 토토사이트 콬가 악화되었습니다. 이번에는 SEM 토토사이트 콬의 각 위치에서 밝기 및 주파수 구성 요소의 방향을 고려하여 동시에 신호와 노이즈를 정확하게 식별 할 수있는 기술을 개발하고 노이즈를 줄입니다.
SEM의 원리는 샘플 표면에 조사 된 전자 빔을 스캔하여 샘플 및 토토사이트 콬의 각 지점에서 방출 된 2 차 전자를 감지하는 것입니다. 이번에는 전자 광학 시뮬레이터를 사용하여 높은 정확도로 촬영하는 동안 전자 빔의 스프레드를 계산하고 빔 직경으로 인해 악화 된 선명도를 복원하기 위해 토토사이트 콬 처리를 반복하는 토토사이트 콬 품질 개선 기술을 개발했습니다.
우리는 이번에 개발 한 토토사이트 콬 품질 개선 기술을 사용하여 SEM의 토토사이트 콬 품질 개선 효과를 확인하고 토토사이트 콬 처리가 수행되지 않을 때와 비교하여 토토사이트 콬의 SN 비율과 토토사이트 콬의 선명도를 대략 1.4 배나 향상시킬 수 있음을 확인했습니다.
이 토토사이트 콬은 12 월 3 일부터 4 일까지 카나가와 주 요코하마시 Pacifico Yokohama에서 열린 View (Vision Engineering Workshop) 2009에서 발표되었습니다.
토토사이트 콬 사이트., Production Technology Research Institute 계획 사무소 [책임 : Kanda]
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전화 : 045-860-1678 (Direct)
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