15 피코 미터의 해상도로 프로브 위치를 제어 할 수있는 원자력 현미경을 토토사이트 테이블했습니다

10 피코 미터의 고유하게 토토사이트 테이블 된 측정 민감도를 갖춘 소형 간섭 변위 센서가 장착되었습니다.

 토토 사이트. (Hitachi의 Nakanishi Hiroaki/Healinafter)는 최근 원자 크기 (약 100-300 피코 미터)를 발표했습니다.*1)보다 1 크기의 분해능으로 프로브의 위치를 ​​제어 할 수 있습니다. 이 AFM은 25mm (너비) x 27mm (높이) x 12mm (높이)의 외부 모양이 고유하게 토토사이트 테이블되었으며 측정 민감도가 있습니다.*2현미경 내에서 바늘 스캐닝 메커니즘 내로 10 피코 미터 미만. 토토사이트 는 차세대 하드 디스크 장치의 자기 헤드 요소와 같은 나노 구조화 된 장치의 토토사이트 테이블 및 제조에 토토사이트 테이블 된 AFM을 적용 할 계획, 신뢰성 및 수율 향상 및 표면 물리학 연구와 같은 기본 연구 분야에 기여하여 3 차원 방식으로 원자를 관찰 할 계획입니다.

AFM은 여러 나노 미터 (1 나노 미터 : 1 백만 번째 밀리미터)의 팁 직경을 갖는 프로브의 3 차원 위치에서 샘플 표면을 추적하여 프로브의 팁과 샘플 표면 사이에 작용하는 세력 (샘플)을 측정하는 스캐닝 프로브 현미경 (SPM)의 한 유형이며, 세력 (1 백만 미터 : 1 백만 분의 밀리미터)을 갖는 프로브의 3 차원 위치로부터 샘플 표면을 추적하는 스캐닝 프로브 현미경 (SPM)의 유형이다. 각 지점에서. 나노 미터 미만의 정확도로 미세한 3 차원 구조를 측정 할 수 있기 때문에 기본 연구 분야뿐만 아니라 반도체 및 기타 분야에서도 광범위한 산업 분야에서 사용되고 있으며, 전 세계적으로 연구가 수행되어 해상도를 개선하고 있습니다. 최근 몇 년 동안 반도체 제조 장비 및 초고속 가공 기계는 가공 후 1/10 미만의 수십 피코 미터의 측정 정확도를 측정하기 위해 나노 구조 요소를 측정하는 데 필요한 하위 나노 미터 (1/10 백만 밀리미터)와 AFM이 필요했습니다. AFM의 측정 정확도는 프로브의 위치를 ​​읽는 변위 센서의 측정 감도에 따라 다르지만 과거에 사용 된 용량 성 변위 센서를 사용하여 수십 개의 피코 미터의 측정 감도를 얻기가 어려웠습니다. 반면에, 레이저 간섭계를 사용한 변위 센서는 원칙적으로 수십 개의 피코 미터의 측정 민감도를 가지지 만, 장치는 AFM 프로브 스캐닝 메커니즘에서 마운트하기에 크며, 간섭 조명은 공기 변동과 기계적 진동으로 인해 쉽게 변동되기 때문에 공간이 제한되어 있어야하고 필요한 비율을 보장하기가 어렵다.

  이러한 배경으로 인해 토토사이트 는 고해상도 AFM을 토토사이트 테이블하여 프로브의 3 차원 위치에 대한 고정밀 판독 및 제어가 15 피코 미터의 분해능으로 원자 크기보다 1 크기의 크기가 작습니다. 이 AFM은 2008 년에 토토사이트 테이블 된 40 피코 미터의 측정 민감도를 갖는 새로운 간섭계 변위 센서를 토토사이트 테이블하여 실현되었으며, 이는 2008 년에 토토사이트 테이블되었으며, 부피 비율 (25mm (폭 27mm) x 12mm (높이) x 12mm (높이)가 40% 감소하고 10 피코 미터에 대한 측정 감도를 개선했습니다.

  앞으로, 우리는 토토사이트 테이블 된 AFM을 차세대 하드 디스크 장치의 자기 헤드 요소와 같은 나노 구조화 된 요소의 토토사이트 테이블 및 제조에 적용하여 신뢰성과 수율을 향상시키는 데 기여하고,이를 표면 물리학에 대한 연구에 적용하고, 각짜리의 형태를 포함하는 3 차원을 관찰하는 데 도움이 될 것입니다.

  이 기술은 2010 년 9 월 14 일부터 17 일까지 나가사키 대학교에서 개최 된 2010 가을 Applied Physics Academic Recture에서 발표 될 예정입니다.

이번에 토토사이트 테이블 된 기술의 세부 사항

  레이저 간섭계에서, 레이저 광은 두 개의 광학 경로로 분리되고, 하나는 참조 표시등으로서 물체에 조사되고, 다른 하나는 빛이 측정되어 반사 된 빛이 서로 방해되며 물체의 변위는 간섭 광의 강도로부터 결정된다. 그러나, 공기 변동 또는 기계적 진동과 같은 교란이 두 광학 경로에서 발생하면 간섭 강도가 변동하고 충분한 정확도를 얻을 수 없습니다. 2008 년에 토토사이트 는 Photonic Crystal*3이라는 특수 편광 요소에 중점을 두었고, Photonic Crystal에 의해 반사 된 편광 구성 요소를 기준 광으로 사용하는 새로운 광학 간섭 기술을 토토사이트 테이블하고, 전송 된 편광 성분을 물체에 객체에 조사하여 두 개의 광학 경로를 측정하여 하나의 광학 경로를 간섭 할 수있게하여 방해가 발생합니다. 외부 모양이 20mm (너비) x 50mm (길이) x 14mm (높이)와 40 피코 미터의 측정 감도를 가진 소형 간섭 변위 센서를 달성했습니다. 광 결정을 포함한 광학 성분의 통합을 더욱 증가시킴으로써, 우리는 AFM에 통합 될 수있는 25mm (너비) x 27mm (길이) x 12mm (높이) 인 외부 모양의 간섭 간섭 변위 센서를 토토사이트 테이블하고, 광학 경로의 길이를 추가로 줄임으로써 10 피코 미터의 측정 감도를 달성했습니다.

용어

*1

Picometer : 1 조 미터

*2

측정 민감도 :이 보도 자료는 객체의 작은 변위를 측정 할 수있는 방법을 보여주는 측정 값을 제공합니다. AD (아날로그-디지털) 변환기의 해상도 및 전기 시스템의 디스플레이 섹션 해상도는 다릅니다.

*3

광학 결정 : 다른 굴절률을 갖는 재료가 빛의 파장주기에 2 ~ 3 차원으로 배열되는 광학 물질. 예를 들어, 1 배 파장의 빛을 갖는 오목하고 볼록한 grating은 투명한 기판에 형성되며, 상이한 굴절률을 갖는 두 가지 유형의 박막이 적층된다. 격자 구조를 조정함으로써, 입사 편광에 따라 다른 반사 및 전송 특성을 갖는 분극 요소로서 작용한다.

이번에 토토사이트 테이블 된 기술의 관련 이미지

연락처 정보

토토 사이트., Production Technology Research Institute 계획 사무소 [책임 : Suzuki, Kanda]
292 Yoshidacho, Totsuka-Ku, Yokohama, Kanagawa 244-0817
전화 045-860-1678 (Direct)

위