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유탑 토토사이트 11 월 25 일
새로운 에너지 및 산업 유탑 토토사이트 개발 기관, 독립 행정 기관
National University Corporation의 도쿄 유탑 토토사이트 연구소
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제곱 인치당 3.9 조 유탑 토토사이트가 정기적으로 배열됩니다
Form Ultrafine Pattern

-폴리머 재료의 자체 조립 현상을 활용하는 초 고밀도 나노 패턴 링 유탑 토토사이트-

  Nedo, 도쿄 유탑 토토사이트 연구소 (회장 : Iga Kenichi / Heally incafter), Kyoto University (Kyoto University로 언급 된 Matsumoto Hiroshi / Healinafter), 토토 사이트. HDD 기록 밀도 향상*에 적용되는 기본 유탑 토토사이트로서, 우리는 제곱 인치당 3.9 조 도트가 정기적으로 배열되는 초반 패턴을 성공적으로 형성했습니다.
  이번에 개발 된 초 고밀도 나노 패턴 유탑 토토사이트이 "비트 패턴 매체"에 적용되면, 현재 HDD 기록 밀도의 약 8 배 (약 500gbits/제곱 인치)의 기록 밀도에 해당합니다. 개발 된 미세 패턴 형성 유탑 토토사이트은이 "비트 패턴 매체"의 실현의 중요한 요소입니다.
  이 결과는 새로운 에너지 및 산업 유탑 토토사이트 개발 기관 (NEDO)의 "초고 밀도 밀도 나노 비트 자기 레코드 (Green IT Project)의 연구 및 개발"의 일부로 얻어졌습니다.

  이 결과에 대한 자세한 내용은 2010 년 자료 연구 협회 가을 회의에서 발표 될 예정입니다. 2010 년 11 월 29 일부터 12 월 3 일까지 미국 보스턴에서 개최되는 재료 유탑 토토사이트에 관한 국제 회의.

*
비트 유탑 토토사이트 매체 : HDD 등에 사용되는 자기 저장 중간 구조의 유형이며, 자성 입자가 인위적으로 순서대로 배열되는 기록 매체입니다.

1. 배경

  IT 사회의 발전으로, HDD는 사회를 지원하는 필수 대용량 저장소가되었습니다. 또한 데이터 센터 및 기타 영역에서 정보 처리가 증가함에 따라 전력 소비 증가는 문제로 간주되며 HDD의 밀도와 용량 증가는 장치의 소형화에 기여하여 에너지 절약, 환경 친화적 인 사회를 실현할 수있는 중요한 유탑 토토사이트로 관심을 끌게됩니다.

2. 유탑 토토사이트 컨텐츠

    이 프로젝트에 따라 Nedo, 도쿄 유탑 토토사이트 연구소, 교토 대학교 및 토토사이트 는 기판 표면에 화학 자국을 설정하여 특정 폴리머가 수집하기가 더 쉬워 질수록 화학적 등록 방법을 순서대로 이들 마크를 따라 이들 마크를 따라 형성 할 수있는 화학적 등록 방법을 설정했습니다.*1를 사용하여, 우리는 기판 표면에 형성된 도트 유탑 토토사이트을 추가로 개선하기 위해 10 nm 클래스의 도트 유탑 토토사이트을 형성하는 유기/무기 하이브리드 폴리머 블록 공중 합체를 개발했다. 또한이 중합체를 사용하여 기판의 화학 자국 사이에 점을 삽입하여보다 밀도가 높은 유탑 토토사이트을 만듭니다.
  결과유탑 토토사이트 Electron Beam Direct Drawing Method (EB Method)*2및 100µm2의 면적 전체에 걸쳐 12nm 기간 간격으로 원하는 방향으로 정기적으로 점을 정기적으로 배열하는 데 성공했습니다. 이것은 EB 방법에 의해 형성된 패턴보다 4 배 더 밀도이며, 제곱 인치당 3.9 테라도의 면적 밀도와 동일하며, 이는 기존의 리소그래피 유탑 토토사이트로 제작하기가 어렵다.
  이 결과에 대한 자세한 내용은 2010 년 자료 연구 협회 가을 회의에서 발표 될 예정입니다. 2010 년 11 월 29 일부터 12 월 3 일까지 미국 보스턴에서 개최되는 재료 유탑 토토사이트에 관한 국제 회의.

(1) 유기/무기 하이브리드 폴리머 유탑 토토사이트 공중 합체

  화학적 등록 방법에서, 중합체 블록 공중 합체가 자발적으로 도트 유탑 토토유탑 토토유탑 토토유탑 토토사이트을 형성하는 현상을 이용하여 유탑 토토유탑 토토유탑 토토유탑 토토사이트이 생성된다. 이 경우, 유탑 토토유탑 토토유탑 토토유탑 토토사이트의 크기를 줄이기 위해, 중합체 블록 공중 합체의 분자량을 감소시켜야한다. 그러나, 종래의 중합체 블록 공중 합체는 분자량이 감소되면 자발적 구조 형성이 발생하지 않는다는 도전을 가졌다. 이번에는, 중합체 블록 공중 합체를 도입 된 실리콘 원자로 하이브리드 유형으로 만들어서, 자체 조립 전력이 증가하여 10 nm의 기간을 갖는 초 미세한 도트 구조가 형성 될 수있다.

(2) 패턴 밀도 곱셈 유탑 토토사이트

  화학적 등록 방법은 미세 패턴을 형성하기 위해 기판 상에 형성된 화학 자국의 점을 조립하는 것을 포함한다. 최근에, 마크 사이에 점을 삽입하면 패턴의 밀도를 증가시킬 수 있음이 입증되었습니다. 이번에는 "유기 및 무기 하이브리드 폴리머 블록 코 폴리머"에 의해 형성된 도트 구조에 해당하는 화학 마크를 제조하는 방법을 개발하고 기판을 용매 증기 대기에 노출시켜 패턴 밀도를 정확하게 곱할 수있는 유탑 토토유탑 토토유탑 토토사이트을 개발했습니다.

[예] 이번에 개발 된 자체 조직 패턴

3. 유탑 토토사이트

이 언론 발표의 유탑 토토사이트에 관한 문의

도쿄 공과 대학 과학 대학원 교수, 도쿄 유탑 토토사이트 연구소, 하야카와 아키카카와
2-12-1 Ookayama, Meguro-Ku, 유탑 토토사이트 152-8552
전화 03-5734-2421

Hasegawa Hiroichi, 유탑 토토사이트 University, 유탑 토토사이트 University 공학 대학원 교수
유탑 토토사이트 University Katsura, Nishikyo-Ku, 유탑 토토사이트 City, 유탑 토토사이트 Prefture 615-8510
전화 075-383-2620

Konno, 브랜드 커뮤니케이션 본부, 홍보 및 IR 부서, 토토 유탑 토토사이트.
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전화 044-520-5211

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(유탑 토토사이트) 용어 설명
*1
화학적 등록 방법 : 특정 중합체의 수집을 용이하게하기 위해 기판 표면에 화학적 표시가 제공되는 방법과 순서대로 미세 유탑 토토사이트이 형성됩니다
*2
직접 전자 빔 드로잉 방법 : 마스크 유탑 토토사이트을 사용하지 않고 전자 빔을 사용하여 저항을 직접 그린 리소그래피 방법

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