토토 사이트 토토 사이트 제조업체를위한 매우 민감하고 높은 처리량 토토 사이트 표면 검사 장치 인 LS9300AD를 떠납니다

웨이퍼 표면 토토 사이트 장치 "LS9300AD"

토토 사이트 High-Tech Co., Ltd. (이후 토토 사이트 High-Tech라고도 함)는 현재 패턴없이 웨이퍼의 앞뒤에 외국 물질과 결함을 검사하는 "LS9300AD"(이후이 제품이라고도 함)를 출시하고 있습니다. 기존의 다크 필드 레이저 산란을 사용한 미세한 외국 물질 및 결함을 감지하는 것 외에도,이 제품은 미세한 불규칙성과 결함을 감지 할 수있는 미세한 불규칙성과 결함을 감지 할 수있는 미세한 간섭 대비 (DIC) 검사 기능을 새로 장착했으며, 반도체 장치가 더 세련되고 복잡 해짐에 따라 낮은 측면을 달성 할 수 있습니다.*1이제 미세 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, 토토 사이트 고정 방법과 검사를위한 스테이지 메커니즘은 이전 제품과 동일한 토토 사이트 에지 그립 방법입니다.*2가있는 회전 단계가 장착되어 있으므로 두 토토 사이트의 매우 민감하고 높은 처리량 양측 검사를 가능하게합니다.
   토토 사이트 High-Technologies는 낮은 수준의 미세 결함을 감지 할 수있는이 매우 민감한 고 처리량 제품을 제공함으로써 토토 사이트를 배송하고 반도체 장치 제조의 수익률을 향상시킬 때 고객 검사 비용을 줄이는 데 기여합니다.

*1

낮은 측면 : 종횡비는 직사각형 모양의 종횡비를 광범위하게 지칭하며,이 릴리스에서 "낮은 측면"은 웨이퍼의 전면 및 뒷면에 존재하지 않는 불량한 결함에 토토 사이트 작은 깊이 폭의 비율을 갖는 미세 결함을 나타냅니다.

*2

토토 사이트 에지 그립 방법 : 검사 중에 토토 사이트를 가장자리에만 고정하는 방법

신토토 사이트 개발의 배경

  토토 사이트 표면 및 등 표면 검사는 토토 사이트 운송 및 수신시 품질 보증에 적용되었으며 다양한 반도체 장치 제조 공정에서 외국 물질 관리가 적용되었습니다.
  토토 사이트 사이트 사이트 사이트 제조업체는 품질 관리에 사용되어 토토 사이트 사이트 사이트 사이트 제조 공정에서 발생하는 결함 및 외국 물질을 검사합니다. 점점 더 소형화되고 복잡한 반도체 장치를 사용하면 반도체 장치의 제조 공정의 수율에 영향을 미치는 결함과 외국 물질의 크기가 작아졌으며, 토토 사이트 사이트 사이트 사이트의 전면 및 후면에 존재하는 미세한 결함을 포함하여 모든 유형의 결함 관리에 대한 요구가 증가하고 있습니다. 또한, 사회 환경의 변화에 ​​대한 응용 및 사용이 증가함에 따라, 반도체 생산이 증가 할 것으로 예상되며, 검사 비용 절감의 관점에서 높은 감도 및 높은 처리량 테스트 장비가 필요하다.

주요 신기술

  이 제품은 기존의 다크 필드 레이저 산란 외에도 새로운 기술 DIC 광학 시스템이 장착되어있어 높은 감도 및 높은 처리량 토토 사이트 및 낮은 측면 미세 결함 탐지를 달성합니다.

(1) DIC 광학 토토 사이트 장착

  어두운 필드 레이저가 토토 사이트 표면에 조사되는 반면, DIC 레이저로부터 분리 된 2 개의 광선은 토토 사이트 표면의 2 개의 다른 지점으로 조사된다. DIC 레이저로부터 조사 된 두 지점에서 토토 사이트 표면의 높이에 차이가있는 경우, 토토 사이트 표면의 높은 대비 이미지가 차동 간섭 신호의 위상차로부터 형성된다. 이를 통해 토토 사이트 표면에 존재하는 낮은 측면 미세 결함의 높이, 면적 및 위치 정보를 검출 할 수 있으며, 이전에는 검출하기 어려웠습니다.

(2) 새로운 DIC 호환 데이터 토토 사이트 시스템 채택

  DIC 광학 시스템의 설치와 함께, 각각 다크 필드 레이저 산란 광학 시스템 및 DIC 광학 시스템에 의해 얻은 결함 정보에 대한 데이터 처리 시스템이 장착되어 있습니다. 이를 통해 DIC 광학 시스템의 다크 필드 레이저 산란 및 토토 사이트 맵을 동시에 출력하여 동시에 빠른 토토 사이트를 유지하면서 낮은 측면 결함 데이터를 포함한 매우 민감한 토토 사이트가 가능합니다.

5296_5366*3)와 같은 제품을 통해 반도체 제조 공정에서 처리, 측정 및 토토 사이트 프로세스에서 고객의 다양한 요구를 충족시킬 것입니다.
  우리는 적시에 제품에 디지털을 추가하는 혁신적인 솔루션을 계속 제공 할 것이며, 고객과 함께 새로운 가치를 창출하여 최첨단 토토 사이트에 기여할 것입니다.

*3

CD-SEM (Critical Dimension-Scanning Electron Microscope) : 토토 사이트에 형성된 반도체의 미세 회로 패턴의 선 너비 및 구멍 직경을 정확하게 측정하는 장치

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토토 사이트 High Tech 소개

  토토 사이트 High-Tech는 2001 년 토토 사이트 Co., Ltd. 측정 기기 그룹, 반도체 제조 장비 그룹 및 고급 산업의 전문 거래 회사 인 Nissei Sangyo Co., Ltd.에서 태어났습니다. 2020 년 토토 사이트.의 전액 소유 자회사가되어 사회 문제를 해결하고 지속 가능한 사회를 실현하는 것을 목표로합니다.
의료 분석 장비, 생물 관련 제품, 반도체 제조 장비, 분석 장비 및 분석 장비의 제조 및 판매 외에도, 우리는 사회 및 산업 인프라와 같은 분야에서 고 부가가치 솔루션을 제공하여 전 세계 비즈니스를 확대하고 있으며, Mobility Heightal Hear Ending Ending Accal Ending Accal incally incally inclited in the Mobility (토토 사이트 High-Tech Group Consolidated)는 674를 확대하고 있습니다.

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