2023 년 6 월 14 일
토토 사이트.
Hitachi Power Solutions Co., Ltd.

토토 사이트. (이하 Hitachi라고 불림) 및 Hitachi Power Solutions Co., Ltd. (이후 Hitachi Power Solutions로 언급 됨)는 2023 년 국립 토토사이트 블랙티비 상을 수상한 일본 비즈니스 연맹 대통령의 대통령 상을 수상했습니다. 반도체 웨이퍼 접합부의 결함을 자동으로 감지하는 초음파 검사 기술. 그것은 우수한 창의적 단계를 가지고 있고 구현에 현저한 영향을 미치는 발명으로 인식되었습니다.
2023 년 6 월 12 일 개최 된 시상식에서 Hitachi Power Solutions의 사장 겸 CEO 인 Ando Tsuneo는 토토사이트 블랙티비가 및 기업 대표로 수여되었습니다.

"National Invention Award"의 요약

National Invention Award는 1919 년 일본의 토토사이트 블랙티비품 제작자, 고안 또는 설계, 일본의 토토사이트 블랙티비품과 장려를 달성 한 연구원과 과학자들을 기리기 위해 과학 기술 및 산업 개발의 ​​개선에 기여하기 위해 1919 년에 설립되었습니다.

반도체 웨이퍼 접합의 결함을 자동으로 감지하는 "초음파 검사 기술"개요

조인트 결함의 초음파 검사는 전자 부품 제조 현장에서는 신뢰성을 보장하기 위해 필수적입니다. 반면, 회로 패턴은 급격히 작아지고 3 차원이되며, 여기서 웨이퍼가 쌓이고 장착되어 있으며, 검사 장비는 웨이퍼 상태에서 훨씬 더 작은 결함을 감지 할 수 있어야합니다.

이번에 이겼던 초음파 검사 기술은 웨이퍼 접합 표면의 초음파 이미지에서 반도체 웨이퍼에서 동일한 유형의 여러 칩을 사용하여 통계적 처리를 기반으로 높은 감도로 약 10 µm의 결함을 자동으로 감지하는 기술입니다. 제조 공차 내에서 변동하여 작은 결함을 감지하고 웨이퍼 접합 표면에서 생성 된 결함 분포를 시각화하는 회로 패턴의 형태의 변화를 분리 할 수 ​​있습니다.
이것은 결함있는 프로세스의 식별 및 프로세스 조건의 빠른 개선을 허용하여 전자 구성 요소의 안정적인 공급에 기여할 수 있습니다.

그림. 본 토토사이트 블랙티비에 따른 자동 결함 탐지 결과의 예

수상 요약

관련 정보

연락처 정보

토토 사이트. 연구 및 개발 그룹

Hitachi Power Solutions Co., Ltd.