우리는 전자 산업을 지원하는 나노 미터 주문의 측정, 분석 및 처리를 가능하게하는 반도체 장치 제조 검사 장비 기술의 연구 및 개발을 촉진하고 있습니다. 그의 연구는 전자 소스 및 전자 광학 시스템과 같은 응용 기술, 전자 현미경, 혈장/건식 공정을 토토사이트 벤틀리하여 전자 현미경의 성능 및 프로세스 장비 개발 및 프로세스/재료 정보를 토토사이트 벤틀리하여 반도체/새로운 재료를 활용하는 공정/재료 정보를 토토사이트 벤틀리하여 전자 현미경 및 프로세스 장비 개발의 성능 향상을 목표로하는 측정 응용 프로그램에 중점을 둡니다. 노동을 줄이고 생산성을 향상시키기위한 장치 제어 기술이 필요하며, 특히 AI/머신 러닝의 개발은 물리/하드웨어 지식 및 고정밀 장치 제어 기술을 기반으로 한 데이터 분석 기술과 병행하여 촉진되고 있습니다.
전자 현미경, 측정/분석/분광 기술, 미세 조재, 플라즈마/건조 공정, 토토사이트 벤틀리 정보학
디지털 트윈, AI, 기계 학습, 이미지 인식/처리, 기능 추출, 장치 운영/관리, 레시피/처리 조건
학술 논문 출판 :
D.Bizen, et al., 2 차 전자 수율을 관찰하고 매우 전압적 인 스캐닝 전자 현미경에 의해 단열 토토사이트 벤틀리의 충전
JVST B 40, 012805 (2022)
https : //doi.org/10.1116/6.0001465
초록 :100 eV 미만의 에너지를 갖는 1 차 전자 (PES)의 조사하에 다양한 절연 토토사이트 벤틀리의 2 차 전자 수율 (SEY) 및 표면 충전을 조사 하였다. SIO의 SEY 1 (E1)을 갖는 PE의 조사 에너지2및 si3n4는 약 20 eV 였고 EUV (Extreme Ultraviolet)에서 토토사이트 벤틀리한 저항성은 약 40 eV였다. 또한, E1은 EUV 저항 패턴의 주사 전자 현미경 이미지를 얻기위한 하한에 해당하는 것으로 밝혀졌다. PE 조사에 의해 조절 된 패턴 화 된 EUV 저항의 표면 전위는 지연 필드 에너지 필터를 토토사이트 벤틀리하여 추정되었다. 표면 전위는 폭에 따라 변하고 표면 전위의 변화는 저항 패턴의 공간에서 방출 된 2 차 전자가 저항 패턴의 측벽에 사막이되기 때문에 폭과 피치에 달려 있음을 발견했습니다.
S.Kizawa 등, 빔 이미지 시프트-유도 된 색채 편향 수차의 보정을 가진 대형 필드 및 고해상도 저전압 스캐닝 전자 현미경
JVST B 42, 054003 (2024)
https : //doi.org/10.1116/6.0003891
초록 :저전압 스캐닝 전자 현미경을위한 색채 편향 수차가없는 빔 이미지-시프팅 기술을 제시합니다. 이 기술은 Wien 필터를 토토사이트 벤틀리하여 빔 이미지 이동에 의해 유도 된 색채 편향 수차를 수정합니다. 실험 결과는이 방법이 빔 이미지 이동에 의해 커버 된 28 × 28 μm2의 큰 시야 (FOV)에 걸쳐 공간 분해능을 크게 향상 시킨다는 것을 입증 하였다. 색채 편향 수차를 수정함으로써, 중심에 대한 FOV의 모서리에서 공간 분해능의 분해 속도는 최대 16%에서 8%에서 감소했습니다. 개발 된 Wien 필터는 빔 이미지 이동보다 60% 빠르게 반응하여 추가 설정 시간이 필요하지 않습니다. 또한, 본 발명자들은 제시된 기술을 반도체 패턴 측정에 적용했으며 빔 이미지 이동에 의해 커버 된 FOV에서 임계 차원 균일 성을 향상시킬 수있는 상당한 잠재력을 보여 주었다. 우리는 제안 된 방법이 빔 이미지 시프트 기술로서 실용적이고 비용 효율적인 개선을 제공한다고 생각합니다.
S.Matsunaga, et al., Schottky Electron 소스 표면의 지르코늄 확산
JVST B39, 062806 (2021)
https : //doi.org/10.1116/6.0001381
초록 :현재의 연구는 S Schottky Electron 소스의 표면 성분 중 하나 인 W 기판에서 Zr -O 복합체의 확산을 조사합니다. 산소의 도움으로 Zr 원자의 열 확산을 가능하게하기 위해, 공급원을 대략 1800K로 가열 하였다; 이를 통해 ZR -O 복합체는 ZR 저수지에서 수백 마이크로 미터 떨어진 소스 정점에서 전자 방출 영역에 도달 할 수있었습니다. 이러한 높은 온도에서 표면 성분의 경제 속도도 증가하여 원자가 더 멀리 확산되기가 더 어려워졌습니다. 확산과 경제의 기본 메커니즘을 더 잘 이해하기 위해, 표면의 ZR의 양은 오거 전자 분광법을 토토사이트 벤틀리하여 추정되었다. ZR -O 복합체의 표면 커버리지는 상당한 손실없이 최대 600μm까지 거의 일정하는 것으로 밝혀졌습니다. 또한, Zr -O 복합체의 확산은 증발보다 우세한 것으로 밝혀졌으며, 이는 커버리지 포화를 초래했다. 그러나 ZR -O 복합체의 적용 범위가 감소하면 관찰 된 경향이 크게 변했으며, 이는 확산과 경제의 균형이 간단한 재료 균형 방정식으로 설명 할 수 없음을 시사합니다. 또한, ZR -O 복합체의 완전히 덮여있는 영역을 갖는 범위는 1900K보다 높은 온도에서 좁아졌습니다. 그러나 이러한 특징은 샘플 주변의 진공 수준에 따라 다양했습니다. 이러한 발견에 기초하여, Schottky Electron 소스의 표면에있는 Zr 및 O의 확산 및 증발 모델이 제안된다.
h. Morishita et al.
j. 자석. 망치. Mater. (2021) 168733
https : //doi.org/10.1016/j.jmmm.2021.168733
초록 :우리는 주사 전자 현미경 (SEM)을 사용하여 이방성없이 명확한 자기 대비를 가진 SEM 이미지를 관찰하는 방법을 개발했습니다. 2 차 전자 (SES)의 방향 선택적 검출은 시편의 길 잃은 자기장에 의한 SES의 편향으로 인해 감지 된 신호 수의 변화를 사용하는 유형 -I 방법을 사용하여 명확한 자기 대비를 사용하여 SEM 이미지를 얻기 위해 필요하다. 빔 감속 및 시편 틸팅 (이하 "틸팅 감속")을 결합함으로써, 우리는 Type-I 방법에 선호되는 SES에 대한 지침 선택적 검출 조건을 달성했습니다. 우리는 틸팅 감속 방법이 미세 자기 도메인 구조에 대한 높은 감도를 가지며 ND2FE14B 시편의 수직 자기 영역에서 미묘한 크기의 자기 도메인 구조를 시각화 할 수 있음을 발견했다. 또한, 우리는 비대칭 탐지기 구성에 의해 얻어진 자기 대비의 이방성을 줄이기 위해 상이한 방향 정보를 갖는 2 개의 SEM 이미지를 합성했다. 결과적으로, 우리는 등방성 자기 대비를 갖는 SEM 이미지를 얻었으며, 이는 Mott-Type Spin-Polariization Detector가 장착 된 스핀 SEM에 의해 획득 된 SEM 이미지와 유사합니다.
M.Matsui et al., NF를 토토사이트 벤틀리하여 SICN의 고도로 선택적 에칭 메커니즘3/AR 기반 혈장
j. 진공 공상 과학. 테크놀로. 39, 043008 (2021),
https : //doi.org/10.1116/6.0000711
초록 :NF를 토토사이트 벤틀리하여 고도로 선택적 SICN 에칭하는 3D 장치를 제조하기위한 자체 정렬 프로세스의 일부로3/AR 기반 가스 플라즈마 전자 레인지 전자-토토사이트 벤틀리클로트론 공명에 의해 생성 된 가스 플라즈마를 조사 하였다. NF에 의해 에칭 된 Sicn의 에칭 속도3/ar 혈장은 다양한 다른 토토사이트 벤틀리, 즉 sio2, si3n4, Poly-Si, Tin 및 Al2O3. NF에 가스를 추가함으로써 비에 테칭 물질에 보호 층을 형성함으로써 다양한 토토사이트 벤틀리와 관련하여 SICN의 매우 선택적인 에칭이 가능하다.3/ar 혈장. NF에 가스를 추가하는 효과3/AR 플라즈마는 다양한 다른 재료에 대한 광학 방출 분광법 및 X- 선 광전자 분광법 (XPS)을 토토사이트 벤틀리한 분석에 의해 연구되었다. 이 분석의 세 가지 주요 결과는 다음과 같이 요약되어 있습니다. 먼저, SICN의 폴리 -SI에 대한 고도로 선택적 에칭이 NF에 산소를 추가함으로써 달성되었다.3/ar 토토사이트 벤틀리 플라즈마. 플루오린 라디칼과의 토토사이트 벤틀리 반응으로부터 폴리 -SI 표면을 보호하기 위해 1.0-nm-두께의 산화 된 층을 형성함으로써 폴리 -Si 토토사이트 벤틀리이 억제 되었기 때문에이 토토사이트 벤틀리이 가능해졌다. 둘째, SICN에서 SIO의 매우 선택적인 토토사이트 벤틀리2및 si3n4NF를 토토사이트 벤틀리하여 달성되었습니다3/AR 기반 플라즈마가 추가 된 SICL4. 이 토토사이트 벤틀리에서, 실리콘 함유 증착 층이 SIO에서 형성되었다2및 si3n4표면. 증착 된 층은 불소 라디칼과 반응하여 표면이 지워지지 않도록 보호 하였다. 셋째, 수소에 대한 혈장을 토토사이트 벤틀리하여 주석에 대한 고도로 선택적 에칭이 달성되었다. XPS 결과는 주석을 포함하는 얇은 보호 층xfy및 암모늄 불소를 주석 표면에 형성 하였다. 주석 표면에 형성된 보호 된 층은 불소 라디칼에 의해 주석이 토토사이트 벤틀리되는 것을 효과적으로 보호합니다.
y.zhao et al., 게이트 all-Around FETS를위한 등방성시기 플라즈마 토토사이트 벤틀리에서 둥근 시그 스 앞면의 형성 메커니즘
IEEE J. Electron Devices Soc.9, 1112 (2021),
https : //doi.org/10.1109/jeds.2021.3130916
초록 :우리는 GAA-FET (Gate-All-Around Field-Effect Transistor) 제조에서 둥근 실리콘-게르마늄 (SIGE) -ETCK FRONT (Rounding)의 형성 메커니즘을 조사했습니다. 이 반올림은시기/Si 스택의 이방성 에칭 후시기 층의 등방성 에칭에 의해 생성되며, 이는 장치 특성을 저하시킨다. 질소 트리 플루오 라이드 플라즈마로 등방성시기 에칭 동안 반올림량의 에칭-시간 의존성은 반올림이 주로시기 에칭의 초기 단계, 즉 15 초 미만의 에칭 시간에 형성됨을 나타낸다. 단면 주사 투과 전자 현미경 및 에너지 분산 성 X- 선 분광법 (STEM EDX) 토토사이트 벤틀리은 등방성 시가 에칭 전에시기/SI 패턴의 측벽에 형성된 GE- 함유 층이 나타났습니다. 이 결과로부터, 우리는 아래에서시기 반올림의 형성 모델을 제안합니다. GE- 함유층의 GE 조성은 시그/Si 스택의 이방성 에칭 동안 이온 보조 GE 확산으로 인한 구배를 갖는다. 이 구배는 SIGE 층의 에칭 속도가 GE 조성이 감소함에 따라 감소하기 때문에 등방성 시그 에칭 동안 반올림을 유도합니다. 우리의 모델을 검증하기 위해, 이방성 에칭 후 GE- 함유 층을 에칭 후 처리에 의해 제거되었고 측벽의 GE 스펙트럼은 줄기 EDX의 검출 한계로 감소되었다. 결과적으로 등방성 시그 에칭 후 반올림량은 2.7에서 1.8 nm로 향상되었습니다. 이 감소는 시그/si 스택의 이방성 에칭 동안 GE- 함유층의 형성이 등방성시기 에칭 후 반올림의 주요 원인 중 하나임을 나타냅니다.
N.Miyoshi et al., sio의 원자 층 토토사이트 벤틀리2HF 및 NH의 순차적 노출을 토토사이트 벤틀리하여 표면 수정 단계에서 자체 제한 거동이있는3
j. 진공 공상 과학. 테크놀로. 40, 012601 (2022),
https : //doi.org/10.1116/6.0001517
초록 :SIO 용 열 원자 층 토토사이트 벤틀리 (Ale)2표면 변형 단계에서 자체 제한 거동을 가진 필름은 HF 및 NH에 순차적 노출을 토토사이트 벤틀리하여 개발되었습니다.3가스와 적외선 (IR) 어닐링. X- 선 광전자 분광법 분석은 AN (NH4)2SIF6-기반 표면 수정 층이 SIO에서 형성되었습니다2가스 노출 후 표면 및이 층은 IR 어닐링을 토토사이트 벤틀리하여 제거되었습니다. 가스 노출 시간이 증가함에 따라 ALE 공정의 사이클 당 에칭 (EPC)은 0.9 nm/사이클로 포화되었습니다. 이 자기 제한적인 행동으로 sio2폴리 -Si 및 Si에 대한 높은 선택성으로 토토사이트 벤틀리되었습니다3n4. HF 및 NH의 부분 압력에 대한 EPC의 의존성3Langmuir adsorption 모델과 잘 일치하는 것으로 밝혀졌습니다. 이것은 HF와 NH¬3분자는 노출 중에 부가 형과 탈착 토토사이트 벤틀리에 동등했으며, 이는 변형 된 층의 자체 제한 형성을 초래했다. HF 가스 흐름이있는 공정 외에도 H2/sf6플라즈마는 HF 가스 노출 단계를 대체하여 SIO를 공급할 수 있습니다2HF 분자가있는 표면. EPC는 2.7 nm/토토사이트 벤틀리클에서 포화되었지만 폴리 -SI 및 SI3n4영화.
k. Shinoda et al., CHF에서 암모늄 염의 자기 제한 반응3/o2질화 실리콘의 열 토토사이트 벤틀리클 원자 층 에칭을위한 다운 스트림 플라즈마
j. 진공 공상 과학. 테크놀로. A 37, 051002 (2019),
https : //doi.org/10.1116/1.5111663
초록 :CHF에서 암모늄 염의 자기 제한 반응3/o2SI3n4. In-Situ X-ray 광전자 분광법 (XPS) 분석은 AN (NH4)2SIF6SI에서 동일한 두께 형태의 부산물3n4넓은 가스 조성 범위에서. (NH4)2SIF6레이어는 si의 토토사이트 벤틀리을 방지합니다3n4그 넓은 범위에서 연속 혈장 노출 중. (NH4)2SIF6열역학적 계산 결과와 일치하는 가열에 의해 층을 승화시켰다. (NH4)2SIF6CHF의 레이어3/o2다운 스트림 플라즈마는 열 사이클 원자 층 에칭에 토토사이트 벤틀리됩니다.3n4현장 내 타원계가 장착 된 새로 개발 된 300mm 도구. 토토사이트 벤틀리클 당 에칭 된 양은 혈장 노출 시간 및 적외선 조사 시간에 대해 포화 된 것으로 확인되었습니다.
N.Okai 등
EIPBN2021, W13 이미징 및 특성화
https : //eipbn.org/abstracts/2021/posters/w13.pdf
W.Sun 등
Spie Advanced Lithography, 2021
https : //doi.org/10.1117/12.2592052
Wang Hailin et al. 머신 러닝을 토토사이트 벤틀리한 메소 겐 에폭시 수지의 액정 상 식별
2019 80 번째 응용 물리 학회의 가을 학업 강의
공동 세션 N "Informatics Application"[19P-PB5-3]
https : //confit.atlas.jp/guide/event-img/jsap2019a/19p-pb5-3/public/pdf? type = in
Y. Shirasaki, et al., 고 공간 해상도 토토사이트 벤틀리 메트로 및 검사를위한 Laser 지원 SEM
Spie Advanced Lithography, 2023
https : //doi.org/10.1117/12.2658184
반도체 제조를위한 제조/토토사이트 벤틀리 시스템
고정밀 전자 빔 측정 시스템 "GT2000"
https : //www.hitachi-hitech.com/jp/ja/products/semiconductor-manufacturing/cd-sem/metrology-solution/semi-gt2000.html
"제 9 일 일본 제조 상, 경제 무역 및 산업 상부 장관"
원자 크기 수준에서 토토사이트 벤틀리 정확도를 달성하는 CG7300 치수 검사 장치 개발
https : //www.monodzukuri.meti.go.jp/backnumber/09/index.html
새로운 고속 검토 SEM "CR7300"
https : //www.hitachi-hitech.com/jp/ja/news/nr20201126.html
Electrobe 와이드 필드 검사 시스템 "GS1000"
https : //www.hitachi-hitech.com/jp/ja/news/nr20211213.html
고속도로 길이 측정 장치 "CV7300"
https : //www.hitachi-hitech.com/jp/ja/products/semiconductor-manufacturing/cd-sem/metrology-solution/semi-cv7300.html
새로운 FE-SEM "SU8600"및 "SU8700"데이터 중심의 연구 및 개발을 지원합니다
https : //www.hitachi-hitech.com/jp/ja/news/nr20211209.html
향상된 마이크로파 ECR 토토사이트 벤틀리 모듈
https : //www.hitachi-hitech.com/file/jp/pdf/about/news/2018/nr20180322.pdf
건식 화학적 제거 에칭 장치 "9060 시리즈"
https : //www.hitachi-hitech.com/jp/ja/news/nr20241127.html
플라즈마 에칭 장치 : 활용률 향상을위한 예측 진단 토토사이트 벤틀리
https : //www.hitachihyoron.com/jp/archive/2020s/2021/01/15/index.html
토토사이트 벤틀리 정보학
토토사이트 벤틀리 정보를위한 측정 솔루션
https : //www.hitachihyoron.com/jp/archive/2010s/2018/06/11a04/index.html
토토사이트 벤틀리 정보 정보와 함께 적용되는 토토사이트 벤틀리 개발 솔루션
https : //www.hitachihyoron.com/jp/archive/2020s/2020/03/03b03/index.html
